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张淑珍
作品数:
1
被引量:12
H指数:1
供职机构:
中国科学技术大学物理学院天文学系
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
吴登峰
中国科学技术大学工程科学学院精...
邬玉亭
中国科学技术大学工程科学学院精...
褚家如
中国科学技术大学工程科学学院精...
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张淑珍
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吴登峰
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传感器技术
年份
1篇
2003
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采用线阴极的快速阳极键合方法
被引量:12
2003年
在平板阴极和点阴极方式做阳极键合时,时间-电流特性、键合速度、结合界面质量等都有所不同。通过建立力学和电学模型,分析了不同阴极形状对阳极键合的时间、强度以及结合界面特性的影响。根据模型分析,采取了线阴极工作方式做阳极键合,样品的键合区扩散时间只需要84s。结合界面无空洞,键合强度为16.7MPa。
吴登峰
邬玉亭
褚家如
张淑珍
关键词:
阳极键合
时间-电流特性
力学模型
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