您的位置： 专家智库 > >

张淑珍

作品数：1 被引量：12H指数：1
供职机构：中国科学技术大学物理学院天文学系更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇阳极
  • 1篇阳极键合
  • 1篇阴极
  • 1篇时间-电流特...
  • 1篇力学模型
  • 1篇键合

机构

  • 1篇中国科学技术...

作者

  • 1篇张淑珍
  • 1篇褚家如
  • 1篇邬玉亭
  • 1篇吴登峰

传媒

  • 1篇传感器技术

年份

  • 1篇2003
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
采用线阴极的快速阳极键合方法被引量：12
2003年
在平板阴极和点阴极方式做阳极键合时,时间-电流特性、键合速度、结合界面质量等都有所不同。通过建立力学和电学模型,分析了不同阴极形状对阳极键合的时间、强度以及结合界面特性的影响。根据模型分析,采取了线阴极工作方式做阳极键合,样品的键合区扩散时间只需要84s。结合界面无空洞,键合强度为16.7MPa。
吴登峰邬玉亭褚家如张淑珍
关键词：阳极键合时间-电流特性力学模型
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0