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李东海
作品数:
4
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供职机构:
沈阳芯源微电子设备有限公司
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相关领域:
电子电信
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合作作者
苗涛
沈阳芯源微电子设备有限公司
刘正伟
沈阳芯源微电子设备有限公司
王绍勇
沈阳芯源微电子设备有限公司
陈焱
沈阳芯源微电子设备有限公司
宗润福
沈阳芯源微电子设备有限公司
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集成电路制造
机构
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沈阳芯源微电...
作者
4篇
李东海
1篇
郑春海
1篇
徐春旭
1篇
张军
1篇
张怀东
1篇
宗润福
1篇
陈焱
1篇
王绍勇
1篇
刘正伟
1篇
苗涛
年份
2篇
2009
2篇
2008
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4
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一种电动气缸的位置控制装置
本实用新型涉及一种电动气缸的位置控制装置,电动气缸由步进电机驱动,以PLC为控制核心,其输入端与电动气缸控制器的输出端相连,PLC的输出端接有电动气缸位置参数设定点、电动气缸执行点及电动气缸暂停点,PLC通过通讯模块与电...
李东海
李孟鸿
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星型结构的涂胶显影设备
本实用新型公开一种在半导体晶片上获得均布光刻胶及光刻胶图形的涂胶显影工艺处理设备的结构。设备由盒站模块、第一涂胶或显影模块、第二涂胶或显影模块、第一热处理模块、第二热处理模块、传送机器人组成;所述盒站模块是由2个盒站单元...
胡延兵
李东海
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集成电路制造匀胶显影设备
宗润福
胡延兵
徐春旭
王绍勇
郑春海
张军
苗涛
陈焱
张怀东
李东海
刘正伟
匀胶显影(又称Track系统)是集成电路制造的关键设备之一,用于集成电路制造光刻工艺中晶圆的涂胶和显影。该成果技术指标达到了预期目标: 1.满足线宽工艺达到0.25微米 2.涂胶考核均匀度:10000±25 3.光...
关键词:
关键词:
集成电路
星型结构的涂胶显影设备
本发明公开一种在半导体晶片上获得均布光刻胶及光刻胶图形的涂胶显影工艺处理设备的结构。设备由盒站模块、第一涂胶或显影模块、第二涂胶或显影模块、第一热处理模块、第二热处理模块、传送机器人组成;所述盒站模块是由2个盒站单元和1...
胡延兵
李东海
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