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苗涛

作品数：5 被引量：1H指数：1
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇科技成果

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇电路
  • 2篇晶片
  • 2篇集成电路
  • 1篇电路制造
  • 1篇电压
  • 1篇电压变换
  • 1篇移送
  • 1篇输入端
  • 1篇片盒
  • 1篇频率电压转换...
  • 1篇转换器
  • 1篇显影
  • 1篇显影机
  • 1篇离心机
  • 1篇冷盘
  • 1篇机器人
  • 1篇机器人功能
  • 1篇机械部件
  • 1篇集成电路制造
  • 1篇夹持机构

机构

  • 5篇沈阳芯源微电...

作者

  • 5篇苗涛
  • 2篇张军
  • 2篇张怀东
  • 1篇李东海
  • 1篇郑春海
  • 1篇徐春旭
  • 1篇宗润福
  • 1篇陈焱
  • 1篇王绍勇
  • 1篇刘正伟
  • 1篇施强

传媒

  • 1篇中国高新科技

年份

  • 1篇2020
  • 1篇2017
  • 1篇2010
  • 2篇2008
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
取送、对中功能一体化机器人装置
本实用新型涉及轨道式匀胶/显影机中晶片的移送机构，具体为一种取送、对中功能一体化机器人装置，解决机器人功能较为单一、操作工序较多等问题。机器人上设置对中机构；所述对中机构包括移动对中部分和气缸，通过气缸驱动的移动对中部分...
苗涛
文献传递
自动集中监控系统在集成电路生产线中的应用被引量：1
2020年
介绍了自动集中监控系统(AMS)的主要架构、系统特点、监控设备类型和系统组成,通过多种监控分析图表,实现从不同视角监控生产过程状态,并分析了监测结果,证明了该设备监控系统具有较高的准确性和实用性。
苗涛张军姬小兵
关键词：AMS集成电路
集成电路制造匀胶显影设备
宗润福胡延兵徐春旭王绍勇郑春海张军苗涛陈焱张怀东李东海刘正伟
匀胶显影(又称Track系统)是集成电路制造的关键设备之一，用于集成电路制造光刻工艺中晶圆的涂胶和显影。该成果技术指标达到了预期目标：　　1.满足线宽工艺达到0.25微米　　2.涂胶考核均匀度：10000±25　　3.光...
关键词：
关键词：集成电路
一种利用编码器测量离心机加速度的装置
本发明涉及半导体匀胶显影设备离心机主轴电机的加速度测量领域，具体的说是一种利用编码器测量离心机加速度的装置。本发明包括光耦隔离模块，输入端连接离心机编码器的输出端，接收离心机编码器输出的脉冲信号，输出端连接频率电压转换器...
苗涛施强
文献传递
一种可以节约时间的匀胶显影加工工艺及设备的改进结构
本发明涉及半导体晶片加工技术，具体地说是一种可以节约时间的匀胶显影加工工艺及设备的改进结构。匀胶显影设备包括匀胶单元、显影单元、热盘单元、冷盘单元、预处理增粘单元、盒站、盒站机器人、工艺机器人、对中单元、晶片盒，在热盘单...
张怀东苗涛
文献传递
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