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施强

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇中文专利

主题

  • 2篇压装
  • 2篇增压
  • 2篇增压装置
  • 2篇排风
  • 2篇欠压
  • 2篇稳压
  • 2篇稳压器
  • 2篇控制器
  • 2篇阀板
  • 2篇风口
  • 2篇风扇
  • 2篇风扇控制
  • 2篇风扇控制器
  • 2篇半导体
  • 2篇半导体设备
  • 1篇电控
  • 1篇电压
  • 1篇电压变换
  • 1篇调节设备
  • 1篇输入端

机构

  • 5篇沈阳芯源微电...

作者

  • 5篇施强
  • 2篇刘莹
  • 2篇郭聪
  • 1篇苗涛

年份

  • 2篇2018
  • 1篇2017
  • 2篇2016
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
一种排风稳压器及其排风稳压方法
本发明涉及一种排风稳压器及其排风稳压方法，排风稳压器的主管道串联在厂务端与设备端之间，在主管道上设有阀板安装块；主管道靠近厂务端的一端内设有风扇，靠近设备端的另一端设有测量孔接头，压力传感器安装在测量孔接头的上方；阀板安...
刘莹施强
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一种利用编码器测量离心机加速度的装置
本发明涉及半导体匀胶显影设备离心机主轴电机的加速度测量领域，具体的说是一种利用编码器测量离心机加速度的装置。本发明包括光耦隔离模块，输入端连接离心机编码器的输出端，接收离心机编码器输出的脉冲信号，输出端连接频率电压转换器...
苗涛施强
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一种半导体设备用分流增压装置及其控制方法
本发明涉及一种半导体设备用分流增压装置及其控制方法。本发明装置包括分风盒，集风口对准供风系统的出风口，对出风口的风进行分流，散风口分别连接电控风扇；电控风扇，为两个，均连接分风盒；风扇控制器，连接电控风扇，用于控制电控风...
郭聪施强
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一种排风稳压器及其排风稳压方法
本发明涉及一种排风稳压器及其排风稳压方法，排风稳压器的主管道串联在厂务端与设备端之间，在主管道上设有阀板安装块；主管道靠近厂务端的一端内设有风扇，靠近设备端的另一端设有测量孔接头，压力传感器安装在测量孔接头的上方；阀板安...
刘莹施强
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一种半导体设备用分流增压装置及其控制方法
本发明涉及一种半导体设备用分流增压装置及其控制方法。本发明装置包括分风盒，集风口对准供风系统的出风口，对出风口的风进行分流，散风口分别连接电控风扇；电控风扇，为两个，均连接分风盒；风扇控制器，连接电控风扇，用于控制电控风...
郭聪施强
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