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施强
作品数:
5
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供职机构:
沈阳芯源微电子设备有限公司
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合作作者
郭聪
沈阳芯源微电子设备有限公司
刘莹
沈阳芯源微电子设备有限公司
苗涛
沈阳芯源微电子设备有限公司
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沈阳芯源微电...
作者
5篇
施强
2篇
刘莹
2篇
郭聪
1篇
苗涛
年份
2篇
2018
1篇
2017
2篇
2016
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一种排风稳压器及其排风稳压方法
本发明涉及一种排风稳压器及其排风稳压方法,排风稳压器的主管道串联在厂务端与设备端之间,在主管道上设有阀板安装块;主管道靠近厂务端的一端内设有风扇,靠近设备端的另一端设有测量孔接头,压力传感器安装在测量孔接头的上方;阀板安...
刘莹
施强
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一种利用编码器测量离心机加速度的装置
本发明涉及半导体匀胶显影设备离心机主轴电机的加速度测量领域,具体的说是一种利用编码器测量离心机加速度的装置。本发明包括光耦隔离模块,输入端连接离心机编码器的输出端,接收离心机编码器输出的脉冲信号,输出端连接频率电压转换器...
苗涛
施强
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一种半导体设备用分流增压装置及其控制方法
本发明涉及一种半导体设备用分流增压装置及其控制方法。本发明装置包括分风盒,集风口对准供风系统的出风口,对出风口的风进行分流,散风口分别连接电控风扇;电控风扇,为两个,均连接分风盒;风扇控制器,连接电控风扇,用于控制电控风...
郭聪
施强
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一种排风稳压器及其排风稳压方法
本发明涉及一种排风稳压器及其排风稳压方法,排风稳压器的主管道串联在厂务端与设备端之间,在主管道上设有阀板安装块;主管道靠近厂务端的一端内设有风扇,靠近设备端的另一端设有测量孔接头,压力传感器安装在测量孔接头的上方;阀板安...
刘莹
施强
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一种半导体设备用分流增压装置及其控制方法
本发明涉及一种半导体设备用分流增压装置及其控制方法。本发明装置包括分风盒,集风口对准供风系统的出风口,对出风口的风进行分流,散风口分别连接电控风扇;电控风扇,为两个,均连接分风盒;风扇控制器,连接电控风扇,用于控制电控风...
郭聪
施强
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