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李忠涛

作品数：2 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇电子束曝光
  • 2篇微细化
  • 2篇机加工
  • 1篇电路
  • 1篇电子束
  • 1篇电子束加工
  • 1篇电子束曝光机
  • 1篇曝光机
  • 1篇微细
  • 1篇微细加工
  • 1篇抗蚀剂
  • 1篇集成电路
  • 1篇光致
  • 1篇光致抗蚀剂
  • 1篇大规模集成电...

机构

  • 2篇中国科学院上...

作者

  • 2篇李忠涛
  • 2篇罗腾蛟
  • 2篇王国荃
  • 1篇徐志如
  • 1篇陈福余

传媒

  • 1篇微细加工技术
  • 1篇第六届全国电...

年份

  • 2篇1991
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
影响电子束曝光机加工微细化的因素被引量：1
1991年
结合实际工作,分析、探讨了影响电子束曝光机加工微细化的因素。这些因素主要有:抗蚀剂材料、电子束本身、电子束曝光机控制线路、器件结构和电子束工艺等。在诸影响因素中,工艺的影响是目前一个较大且较主要的影响因素,其次是背散射电子束的影响,对后者,我们采用辅助曝光方法加以改善,效果良好。但对工艺等的影响因素的改善尚待继续研究、摸索。
王国荃罗腾蛟陈福余李忠涛徐志如
关键词：电子束曝光机微细加工
影响电子束曝光机加工微细化的因素
王国荃罗腾蛟李忠涛
关键词：大规模集成电路光致抗蚀剂电子束加工
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