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赵佳欣

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：大连理工大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇会议论文
  • 2篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇一般工业技术

主题

  • 3篇传感
  • 2篇压电薄膜
  • 2篇湿法腐蚀
  • 2篇微机械
  • 2篇微机械传感器
  • 2篇纳米
  • 2篇纳米硅
  • 2篇纳米压印
  • 2篇刻蚀
  • 2篇干法刻蚀
  • 2篇感器
  • 2篇传感器
  • 1篇压电
  • 1篇溶胶
  • 1篇溶胶-凝胶法
  • 1篇微悬臂
  • 1篇微悬臂梁
  • 1篇梁结构
  • 1篇化学腐蚀
  • 1篇O3

机构

  • 5篇大连理工大学

作者

  • 5篇赵佳欣
  • 4篇夏劲松
  • 4篇崔岩
  • 3篇张吕权
  • 3篇王立鼎

传媒

  • 2篇2009第八...

年份

  • 1篇2011
  • 4篇2009
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
一种新型压电微悬臂梁探针的设计与制作
为实现压电探针在纳米器件表征和加工领域的应用，设计、制作了一种压电微悬臂梁探针。采用各向异性湿法腐蚀的方法得到纳米级硅针尖，采用局部压电层方法解决了压电微悬臂梁探针制作过程中探针、压电薄膜和微悬臂梁之间的工艺兼容性问题。...
夏劲松崔岩赵佳欣王立鼎
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PB1-XSRX(ZR0.53TI0.47)O3薄膜的制备及传感性能测试
本文制备了基于PB1-XSRX (ZR0.53TI0.47) O3（PSZT）薄膜的压电微悬臂梁。PSZT薄膜以PT/TI/SIO2/SI 为基底，通过溶胶-凝胶法和快速热处理工艺获得。根据XRD 衍射分析，研究了微量S...
赵佳欣张吕权夏劲松崔岩
关键词：XRD微悬臂梁
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一种压电微悬臂梁探针的制作方法
本发明公开了一种压电微悬臂梁探针的制作方法，属于微机械传感器与执行器领域技术领域。其特征在于采用局部压电层的方法实现了纳米硅针尖制作工艺与压电薄膜制作工艺的集成。制作过程中，纳米硅针尖采用有掩膜的各向异性湿法腐蚀方法，压...
崔岩夏劲松赵佳欣张吕权王立鼎
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锶掺杂PZT薄膜的特性与器件研究
锆钛酸铅(PZT)材料以其优异的压电、铁电、介电和热释电等性能，被广泛用于制备各种微器件，如微力传感器、执行器、铁电存储器等。对PZI薄膜进行掺杂可以改变其性能。本文制备了锶掺杂的PZT薄膜，研究了五种不同腐蚀液配方对P...
赵佳欣
关键词：PZT薄膜化学腐蚀溶胶-凝胶法
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一种压电微悬臂梁探针的制作方法
本发明公开了一种压电微悬臂梁探针的制作方法，属于微机械传感器与执行器领域技术领域。其特征在于采用局部压电层的方法实现了纳米硅针尖制作工艺与压电薄膜制作工艺的集成。制作过程中，纳米硅针尖采用有掩膜的各向异性湿法腐蚀方法，压...
崔岩夏劲松赵佳欣张吕权王立鼎
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