张吕权
- 作品数：5 被引量：2H指数：1
- 供职机构：大连理工大学更多>>
- 发文基金：辽宁省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学一般工业技术更多>>
- PB1-XSRX(ZR0.53TI0.47)O3薄膜的制备及传感性能测试
- 本文制备了基于PB1-XSRX (ZR0.53TI0.47) O3（PSZT）薄膜的压电微悬臂梁。PSZT薄膜以PT/TI/SIO2/SI 为基底，通过溶胶-凝胶法和快速热处理工艺获得。根据XRD 衍射分析，研究了微量S...
- 赵佳欣张吕权夏劲松崔岩
- 关键词：XRD微悬臂梁
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- 一种压电微悬臂梁探针的制作方法
- 本发明公开了一种压电微悬臂梁探针的制作方法，属于微机械传感器与执行器领域技术领域。其特征在于采用局部压电层的方法实现了纳米硅针尖制作工艺与压电薄膜制作工艺的集成。制作过程中，纳米硅针尖采用有掩膜的各向异性湿法腐蚀方法，压...
- 崔岩夏劲松赵佳欣张吕权王立鼎
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- 压电微探针中PZT薄膜与硅尖制备工艺的研究
- 压电微悬臂梁集成了传感和执行功能,既可致动微悬臂梁,又可探测微悬臂梁的位移量,以其结构简单、易于微型化、频率响应高等特点在原子力显微镜中得到广泛应用。本课题组设计了一种新型压电微悬臂梁探针,但是在工艺上出现硅尖不易获得、...
- 张吕权
- 关键词：探针PZT薄膜应力微悬臂梁压电
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- 压电微悬臂梁探针的制作工艺研究被引量：2
- 2011年
- 为实现压电探针在纳米器件表征和加工领域的应用,设计并制作了一种压电微悬臂梁探针.采用各向异性湿法腐蚀的方法得到纳米级硅针尖,用局部压电层方法解决了压电微悬臂梁探针制作过程中探针、压电薄膜和微悬臂梁之间的工艺兼容性问题.使用微力传感器测试平台对尺寸为450μm×70μm的压电悬臂梁探针进行测试,结果表明,这种尺寸的压电悬臂梁探针的弹性常数为21.17N/m,与理论计算值相符.通过对压电探针的设计制作,总结了湿法腐蚀-干法刻蚀等工艺的结合方案,为压电探针的广泛应用奠定了基础.
- 崔岩张吕权夏劲松王立鼎
- 一种压电微悬臂梁探针的制作方法
- 本发明公开了一种压电微悬臂梁探针的制作方法，属于微机械传感器与执行器领域技术领域。其特征在于采用局部压电层的方法实现了纳米硅针尖制作工艺与压电薄膜制作工艺的集成。制作过程中，纳米硅针尖采用有掩膜的各向异性湿法腐蚀方法，压...
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