马渊明
- 作品数：73 被引量：75H指数：6
- 供职机构：合肥工业大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划中国人民解放军总装备部预研基金安徽省科技攻关计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信一般工业技术机械工程更多>>
- 高深宽比的TSV制作与填充技术被引量：4
- 2016年
- 硅通孔技术是三维集成电路中堆叠芯片实现互连的一种新的技术解决方案。本文介绍了TSV的制作与填充技术,通过优化ICP刻蚀工艺,实现了上口尺寸14.41μm、下口尺寸8.83μm、深度331.0μm、深宽比大于20:1的高深宽比通孔的制作;利用LPCVD工艺在通孔内沉积的重掺杂多晶硅作为电极引线实现电气互连,并对通孔进行了电阻特性的测试,测试结果表明,通孔阻值约为25Ω,通孔互连的电学特性较好。
- 余成昇许高斌陈兴马渊明展明浩
- 关键词：ICP刻蚀LPCVD高深宽比
- 一种光学式MEMS加速度传感器及其制备方法
- 本发明属于微电子机械系统的技术领域，具体涉及一种光学式MEMS加速度传感器及其制备方法。包括依次连接的光源发射层、敏感层和检测层；光源发射层的底面开设下凹槽，下凹槽的中间安装有圆形的半导体红外光源；敏感层包括方形外框和长...
- 许高斌花翔杜林云马渊明陈兴
- 文献传递
- 基片温度对PLD制备ZnO薄膜光学常数的影响(英文)被引量：2
- 2009年
- 光谱椭偏仪被用来研究用脉冲激光沉积方法在Si(100)基片上,温度分别为400,500,600,700℃制备的ZnO薄膜的特性。利用三层Cauchy散射模型拟合椭偏参数,计算了每个温度下制备的ZnO薄膜在400～800nm波长范围内的折射率(n)和消光系数(k)。发现基片温度对光学常数有很大的影响。通过分析XRD表征的晶体结构和AFM表征的薄膜表面形貌,发现折射率的变化归因于薄膜堆积密度的变化。为了获得具有较好的光学和薄膜质量的ZnO薄膜,相比与其他沉积温度600℃或许是最佳的沉积温度。
- 于永强梁齐马渊明仇旭升章伟揭建胜
- 关键词：PLD氧化锌光学常数
- 一种用于压电能量收集的无电感自启动能量收集系统
- 本发明涉及电源管理技术领域，具体涉及一种用于压电能量收集的无电感自启动能量收集系统，包括同步电容开关电路、过零检测模块、脉冲产生模块、脉冲排序模块、门过驱动电压电平V<Sub>DDA</Sub>产生模块、冷启动模块和LD...
- 张章唐锁唐泽晨马渊明程心解光军
- 文献传递
- 一种用于激光雷达的双层梳齿驱动MEMS扫描镜及制备方法
- 本发明涉及微机电技术领域，具体涉及用于激光雷达的双层梳齿驱动MEMS扫描镜及制备方法。MEMS扫描镜包括透明的玻璃盖帽、旋转扫描镜本体和硅基底；旋转扫描镜本体包括包括方形的微镜、第一S型扭转梁、第二S型扭转梁、长方形的内...
- 许高斌杜林云花翔马渊明陈兴于永强
- 文献传递
- 基于蒙特卡洛仿真的MEMS陀螺仪可靠度分析
- 2021年
- 文章基于微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)陀螺仪的工作原理,从灵敏度的角度提出频率匹配失效数学模型,针对MEMS陀螺仪中的典型结构微悬臂梁,给出微悬臂梁的黏附失效数学模型;基于蒙特卡洛仿真,利用Matlab软件分别对2个模型进行可靠度计算,并考虑了温度对频率匹配失效的影响以及湿度对黏附失效的影响;对模型中随机变量的偏移作敏感性分析,讨论随机变量变化对可靠度的影响。结果表明,L型内外梁的宽度与厚度、长梁长度等参数变化对频率匹配的影响巨大,增加微悬臂梁的厚度、减小长度,降低材料单位面积的黏附能,都可提高微悬臂梁黏附失效可靠度。
- 许高斌徐礼建余智马渊明马渊明
- 关键词：可靠度蒙特卡洛仿真
- 一种硅基微腔窄带近红外光电探测器
- 本发明公开了一种硅基微腔窄带近红外光电探测器，该探测器的结构为：以单晶硅衬底为基底；单晶硅衬底的上表面刻蚀为硅微孔阵列结构；在硅微孔阵列上设置有上绝缘层；在单晶硅衬底下表面转移有石墨烯薄膜，形成石墨烯‑硅肖特基异质结；在...
- 于永强宋龙梅夏宇刘佳杨许高斌马渊明陈士荣
- 文献传递
- 一种单片集成多孔硅的相对湿度传感器及其制备方法
- 针对现有的湿度传感器结构方面的不足，本发明提供一种单片集成多孔硅相对湿度传感器及其制备方法。所述的湿度传感器包括基体，在基体上设有一对呈梳齿状且相互交错的铝电极，在铝电极的底面与侧壁上均覆盖有氧化隔离层，在铝电极的顶部覆...
- 许高斌张胜兵陈兴马渊明
- 文献传递
- SOI高g值压阻式加速度传感器与工艺实现被引量：1
- 2013年
- 基于SOI技术,利用电感耦合等离子体硅深加工,设计制备了一种新型平面内振动高g值压阻式加速度计。该加速度计包括X轴向与Y轴向单元,采用扇形敏感质量块平板内振动结构。对称的布局方式,有效地消除了灵敏度的交叉干扰,提高了传感器的测量精度。测试系统分析出加速度传感器的灵敏度是1.170μV/g。研究表明该加速度传感器可实现对量程高达25×104g加速度的测量。
- 许高斌陈兴马渊明卢翌汪祖民
- 关键词：高G值压阻式加速度传感器SOI
- 平面扭转式强磁场测量微传感器的设计与分析被引量：3
- 2020年
- 文章针对托卡马克内部复杂的强磁场环境,设计了一种可用于测量X或Y方向强磁场分量的平面扭转式微传感器结构,其测量范围为0.05~1.50 T;并进行了优化设计和模拟仿真。仿真分析结果表明,该结构在线圈通入正弦电流的情况下,结构分辨率可达122.860 pF/T,谐振频率可达41.1 MHz。该传感器可为超导托卡马克装置未来千秒长脉冲准稳态磁场测量诊断系统提供相关解决方案和技术积累。
- 王月媖许高斌王超超陈兴陈兴
- 关键词：托卡马克洛伦兹力
