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刘清珺

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”北京市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇电子器件
  • 1篇云纹
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子器件
  • 1篇力学测量

机构

  • 1篇清华大学

作者

  • 1篇刘清珺
  • 1篇岸本哲
  • 1篇马少鹏
  • 1篇谢惠民
  • 1篇王怀喜

传媒

  • 1篇力学与实践

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
显微云纹技术在微电子器件力学测量中的应用被引量：1
2009年
电子工业的不断发展促进了电子器件的微小型化,作为新型产品设计基础的微电子器件可靠性分析成为人们非常关注的问题.力学参数的测量可以为可靠性评价提供有价值的实验依据.概括总结了显微云纹技术的发展,主要介绍了云纹干涉法和扫描显微镜云纹方法及其在微电子器件全场变形场测量中的应用.
谢惠民王怀喜马少鹏刘清珺岸本哲
关键词：微电子器件
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共1页<1>
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