单兴锰
- 作品数：11 被引量：1H指数：1
- 供职机构：天津大学更多>>
- 发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术理学更多>>
- LSAWs技术无损表征互连薄膜机械强度与界面粘附性的研究
- low-k薄膜较差的机械强度和界面粘附性限制了其在ULSI制造工艺过程中的应用。因此需要发展快速、准确、无损的检测手段来表征ULSI互连薄膜的机械特性。激光表面波技术利用表面波在分层结构中传播的色散现象对low-k薄膜的...
- 单兴锰
- 关键词：薄膜电路电路检测
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- LSAWs技术检测超薄low-k材料机械特性的匹配算法
- 2010年
- 激光激发超声表面波法(LSAWs)是一种无损检测技术,其理论依据为表面波在分层材料中传播时发生频散.在检测超薄low-k薄膜材料机械特性时,LSAWs方法在准确性、快速等方面比传统的纳米压痕法具有明显优势.对大量的实验数据进行了细致分析,得到了频率低于200 MHz的表面波频散曲线的特殊规律,并在此基础上建立了一种基于二分法的快速查找算法,实现了理论与实验频散曲线的快速匹配.超声表面波技术对超薄low-k膜层材料的弹性模量进行在线检测时,采用快速匹配算法可以显著提高检测速度.
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- 关键词：无损检测快速匹配算法机械特性
- 杨氏模量和泊松常数的超声表面波双向检测方法
- 本发明属于材料性能检测技术领域，涉及一种杨氏模量和泊松常数的超声表面波双向检测方法，用于检测由各向同性薄膜淀积在硅衬底上形成的分层薄膜材料，包括下列步骤：利用短脉冲激光器在分层薄膜材料样片表面激发出宽频带超声表面波；通过...
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- 文献传递
- 基于表面波的薄膜粘附性检测方法
- 本发明属于薄膜无损检测技术领域，涉及一种基于表面波的薄膜粘附性检测方法，包括：构建表征薄膜的粘附特性的弹簧假设模型，并建立表面波质点位移表达式；将建立表面波质点位移表达式代入的表面波在薄膜/基底结构中传播的边界条件，得到...
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- 应用于早期乳腺肿瘤探测的小型化超宽带天线被引量：1
- 2012年
- 设计了两款可以应用于早期乳腺肿瘤超宽带微波检测技术的超宽带天线。两款天线均为平面单极天线,分别由叉形、三角形金属贴片和槽口金属接地板构成,采用微带线对其进行馈电。经过仿真优化,两款天线的-10 dB回波损耗频率覆盖范围分别为4～10 GHz和5～10 GHz,且在此带宽内具有良好的全向性。对叉形极子天线进行了实物测量,试验数据与仿真结果相吻合。两款天线体积小、结构简单、加工简便,能够较好地满足微波成像检测乳腺肿瘤技术中天线阵列的设计要求。
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- 关键词：超宽带天线小型化
- 结构改进型压电信号探测器
- 本发明属于传感器技术领域，涉及一种结构改进型压电信号探测器，包括楔形探头、绝缘体和金属外壳和金属支撑杆，绝缘体内开设有与楔形探头外形相匹配的通孔，楔形探头置于该通孔内，绝缘体置于金属外壳内，在金属外壳和绝缘体的同一个侧面...
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- 一种测量镶嵌薄膜杨氏模量的方法
- 本发明属于材料物理特性检测技术领域，涉及一种测量镶嵌薄膜杨氏模量的方法，包括下列步骤：(1)建立镶嵌薄膜及硅衬底的仿真模型；(2)确定镶嵌薄膜及硅衬底的参数；(3)确定镶嵌薄膜及硅衬底的边界条件；(3)利用有限元的方法绘...
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- 用于乳腺肿瘤诊察的超宽带微波平板天线
- 本发明属于生物医学工程领域，涉及一种用于乳腺肿瘤诊察的超宽带微波平板天线，包括基板，其特征在于，所述基板的尺寸为12mm×15mm，在基板的正面设置辐射极子，背面设置馈电网络，所述的辐射极子为叉状，其两个叉指的长度均为4...
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- 三角形极子超宽带平板天线
- 本发明属于无线通信技术领域，涉及一种三角形极子超宽带平板天线，包括基板，在基板的正面设置辐射极子，背面设置馈电地板，所述的辐射极子包括等腰三角形主体、与等腰三角形主体的底边相接的横长条以及与横长条相接并相互垂直的竖长条几...
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- 结构改进型压电信号探测器
- 本发明属于传感器技术领域，涉及一种结构改进型压电信号探测器包括楔形探头、绝缘体和金属外壳和金属支撑杆，绝缘体内开设有与楔形探头外形相匹配的通孔，楔形探头置于该通孔内，绝缘体置于金属外壳内，在金属外壳和绝缘体的同一个侧面上...
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