刘亚亮
- 作品数：6 被引量：1H指数：1
- 供职机构：天津大学更多>>
- 发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学一般工业技术更多>>
- 超声表面波(LSAWs)法表征low-k薄膜杨氏模量的快速实现
- 在过去的几十年间,集成电路的集成度依循摩尔定律呈指数规律升高,特征尺寸不断减小。现阶段,互连线的RC延迟已经远超过门延迟,成为影响电路性能和速度的关键。为降低RC延迟,低介电常数(low-k)介质的研究已成为微电子领域的...
- 刘亚亮
- 关键词：低介电常数杨氏模量频散曲线图形化界面
- 文献传递
- 结构改进型压电信号探测器
- 本发明属于传感器技术领域，涉及一种结构改进型压电信号探测器，包括楔形探头、绝缘体和金属外壳和金属支撑杆，绝缘体内开设有与楔形探头外形相匹配的通孔，楔形探头置于该通孔内，绝缘体置于金属外壳内，在金属外壳和绝缘体的同一个侧面...
- 肖夏刘亚亮单兴锰
- 文献传递
- LSAWs技术检测超薄low-k材料机械特性的匹配算法
- 2010年
- 激光激发超声表面波法(LSAWs)是一种无损检测技术,其理论依据为表面波在分层材料中传播时发生频散.在检测超薄low-k薄膜材料机械特性时,LSAWs方法在准确性、快速等方面比传统的纳米压痕法具有明显优势.对大量的实验数据进行了细致分析,得到了频率低于200 MHz的表面波频散曲线的特殊规律,并在此基础上建立了一种基于二分法的快速查找算法,实现了理论与实验频散曲线的快速匹配.超声表面波技术对超薄low-k膜层材料的弹性模量进行在线检测时,采用快速匹配算法可以显著提高检测速度.
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- 关键词：无损检测快速匹配算法机械特性
- 杨氏模量和泊松常数的超声表面波双向检测方法
- 本发明属于材料性能检测技术领域，涉及一种杨氏模量和泊松常数的超声表面波双向检测方法，用于检测由各向同性薄膜淀积在硅衬底上形成的分层薄膜材料，包括下列步骤：利用短脉冲激光器在分层薄膜材料样片表面激发出宽频带超声表面波；通过...
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- 文献传递
- 结构改进型压电信号探测器
- 本发明属于传感器技术领域，涉及一种结构改进型压电信号探测器包括楔形探头、绝缘体和金属外壳和金属支撑杆，绝缘体内开设有与楔形探头外形相匹配的通孔，楔形探头置于该通孔内，绝缘体置于金属外壳内，在金属外壳和绝缘体的同一个侧面上...
- 肖夏刘亚亮单兴锰
- 文献传递
- 激光激发表面波法表征low-k薄膜
- 刘亚亮
- 关键词：低介电常数杨氏模量频散曲线图形化界面
