周云飞
- 作品数：189 被引量：1,284H指数：20
- 供职机构：华中科技大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术金属学及工艺机械工程电气工程更多>>
- 光刻机工作台运动控制中的若干关键问题被引量：5
- 2014年
- 100 nm步进扫描投影光刻机是我国攻关研究的主流机型,工作台是实现其超精密性能的核心子系统。光刻机工作台采用粗、微复合的运动结构,其同步最大运动平均误差(<5 nm)和同步最大运动标准偏差(<12 nm)等性能指标对运动控制系统提出严苛要求。分析硅片台与掩模台的结构特点,提出了运动控制系统中保证精度实现的组成单元,分别论述轨迹规划、测量系统、控制策略单元等的工作机理与实现特点;为进一步提高运动控制精度,分析工作台可能受到的扰动因素,提出相应的补偿控制策略,探讨运动控制中各环节的参数校准策略。综合论述步进扫描投影型光刻机工作台运动控制中的关键问题,并提出相应的实现与解决方法,可为实际光刻设备超高精度的实现提供指导。
- 滕伟穆海华周云飞
- 关键词：工作台运动控制
- 点光源测头光束方向的标定被引量：6
- 2004年
- 指出在采用点光源测头测量物面测点坐标时 ,因光束方向相对于机床坐标系的安装偏角而引起的测量误差问题。提出了一种标定光束方向的方法。设计 V形块做标定的靶标平面 ,通过在 V形块随各坐标轴做等距移动时采样 ,实现了点光源测头光束方向的标定。给出了标定光束方向后的测点坐标计算方法。并设计了仿真程序验证了该方法的可行性。仿真结果表明 ,当测头精度为 0 .0 1m m,光栅尺对机床位移的检测精度为 0 .0 0 2 mm时 ,光束方向的标定误差可以控制在 0 .
- 周会成曾理湛陈吉红周云飞
- 关键词：机床
- 基于PC数控实时检测系统建模方法研究被引量：5
- 2003年
- 为了解决在基于 PC的数控系统中快速构建实时检测系统的问题 ,采用着色时间网对实时检测系统建模 ,应用着色时间网统一地表达了检测系统在基于 PC数控系统中的时间关系、资源关系和系统的控制策略 。
- 向华陈吉红周云飞陈立新
- 关键词：实时检测系统
- 一种磁浮平面电机动子初始相位定位方法
- 本发明公开了一种磁浮平面电机位置初始定位方法，该方法包括以下步骤：在磁浮平面电机动子不同位置放置4个霍尔传感器，通过测量电机静止时各个传感器所在位置的磁通密度，选取磁通密度最低的3个测量值作为观测值，结合磁钢阵列上磁通密...
- 周柔刚周云飞周才健涂骁
- 超精密点对点运动三阶轨迹规划精度控制被引量：32
- 2008年
- 研究一种优化的超精密点对点运动三阶轨迹规划算法及其精度控制策略。在简要分析三阶轨迹轮廓可能情形的基础上,建立三个约束基准用来预判别以上情形:速度—加速度基准、位移—加速度基准和位移—速度基准,依据该基准与系统约束,提出一种考虑轨迹全过程的预处理方法,并给出时间优化的轨迹规划算法。考虑算法离散实现时的精度损失,提出一种轨迹规划内部整数积分策略,避免因浮点积分操作所造成的数据漂移而引起的精度失败。此外,提出一种基于位置修正因子的补偿方法,克服切换时间圆整所引起的终点位置偏差。实例证明提出算法的有效性和可靠性。该算法已成功应用于半导体加工装备研发中。
- 穆海华周云飞严思杰韩爱国
- 关键词：点对点运动精度控制
- 自定义齿扇插补控制算法被引量：4
- 1996年
- 对插齿控制运动进行描述。将编译理论引入插补，成功地实现了对用语言描述的运动轨迹齿扇的实时插补。同时对另一种自定义方式──离散点定义作了介绍，研究并实现了一种无粗插补的样条曲线实时插补算法。最后给出一个自定义齿扇的加工实例，结果表明加工精度可稳定在ＧＢ１０００９５一８８６．５级。
- 王水来朱志红周云飞周济谢顺兴
- 关键词：插齿加工
- 多运动轴协同控制的研究
- 首先介绍了影响多轴控制精度的若干因素。在此基础上,着重分析了几种典型的由于轴间的相互影响和机床本身因素所导致的轮廓误差。通过分析,提出了在高速高精的加工过程中,如何通过协同控制提高系统轮廓精度
- 宋宝周云飞
- 关键词：多轴运动协同控制
- 基于STM32的坝体水平变形测量仪被引量：2
- 2012年
- 为了准确、高效地测量坝体水平变形量,以实现坝体的安全监测,分析了铅垂线原理,设计了以减速直流电机为驱动元件,激光发射接收装置和高精度光栅尺为测量元件的坝体水平变形量测量装置。控制系统以STM32为处理器,并移植了嵌入式多任务操作系统μC/OS-Ⅱ和多任务图形用户接口μC/GUI,利用TFTLCD触摸屏开发出了人机交互界面,通过操控触摸屏实现了数据的自动测量和手动测量,通过远程上位机管理系统以及利用RS485通信网络发送相关指令完成了数据的测量及收集,通过现场连接USB设备实现了数据的转存。实验结果表明,该仪器能够实现大坝变形测量的自动化和网络化,其测量速度快,测量精度高达0.01 mm,且重复性好。
- 雷佳科周云飞熊欢
- 关键词：测量仪多任务
- 光刻机步进扫描运动轨迹重叠规划算法被引量：2
- 2010年
- 研究一种步进扫描投影光刻机的步进运动与扫描运动的轨迹重叠规划算法。根据给定的系统动力学约束,以保证最大加速度与最大速度不超限为目标,建立步进运动与扫描运动轨迹重叠规划的约束基准。依据该基准,分析步进运动与扫描运动轨迹重叠规划的各种可能情形,推导在最大程度上缩短运动执行时间的轨迹拐点调整计算公式。以此为基础,提出步进运动与扫描运动的轨迹重叠规划算法。通过仿真计算验证算法的正确性与有效性。实际应用证明该算法能在保证运动精度基础上,极大地提高生产率。该算法已被100 nm步进扫描投影光刻机工作台超精密运动控制系统所采用。
- 穆海华周云飞周艳红
- 基于COM技术和OPC规范的开放式结构数控系统研究被引量：21
- 2003年
- 对 COM技术和 OPC规范进行简要介绍后 ,指出基于 COM技术 /OPC规范的开放式数控系统的优势所在。提出了开放式结构数控系统的层次模型和工作流程 ,并以此为基础 ,研究了一个实例系统的软硬件结构。该实例的硬件采用自行开发的 DSP运动控制卡 ,软件采用 COM技术 ,硬件驱动程序符合
- 李斌周云飞唐小琦
- 关键词：COMOPC数控系统运动控制卡
