林丙涛
- 作品数：55 被引量：66H指数：5
- 供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术理学电子电信机械工程更多>>
- 高性能石英MEMS陀螺
- 林日乐谢佳维江黎满欣李文蕴蒋昭兴翁邦英赵建华苏永川林丙涛董宏奎王清亮文路张巧云朱振忠
- 高性能石英MEMS陀螺是振动惯性技术和石英MEMS技术相融合的产品。项目着重开展了敏感芯片设计、石英MEMS工艺、高精度陀螺电路设计等技术研究，突破了高精度陀螺敏感芯片结构设计、一体式掩膜电极成型MEMS工艺、集成式敏感...
- 关键词：
- 关键词：陀螺
- 一种利于微型化的石英谐振元件
- 本实用新型公开了一种利于微型化的石英谐振元件，包括基部和两谐振梁，谐振梁的正面和背面中至少有一个面上设有凹槽，凹槽由两侧平行的深凹槽和位于两个深凹槽之间且与两个深凹槽连为一体的浅凹槽构成。在凹槽的内壁以及谐振梁的两侧壁上...
- 林丙涛林日乐班亚娟赵建华
- 文献传递
- 一种轴对称谐振器
- 本发明公开了一种轴对称谐振器，包括玻璃球壳，在玻璃球壳内设有支柱、底层电极、压电薄膜和表层电极；底层引脚电极附着于支柱表面，底层辐条电极和底层压电电极附着于玻璃球壳内表面；每个底层压电电极分别通过底层辐条电极与底层引脚电...
- 林丙涛杨峰梅松肖凯林翠平
- 文献传递
- 一种微半球陀螺球面电极成型装置及方法
- 本发明涉及微机电系统制造技术领域，具体是一种微半球陀螺球面电极成型装置及方法；所述方法包括将制备完成的谐振结构放入支架下层中；将玻璃结构紧贴所述谐振结构后盖上支架上层，并合拢上下层支架；将合拢后的支架放入真空加热炉中，软...
- 杨峰梅松林丙涛文路
- 载气流速对高场不对称波形离子迁移谱的影响被引量：24
- 2010年
- 载气流速是影响高场不对称波形离子迁移谱(FAIMS)的重要参数。以自制的高场不对称波形离子迁移谱仪为实验平台,在射频电场幅值3kV/cm,频率500kHz,占空比0.36的条件下,研究了载气流速对苯离子迁移谱谱峰强度和半峰宽的影响。实验结果表明:载气流速为3.7L/min时,苯样品的谱峰强度最大,仪器的灵敏度最高。随着载气流速的增加,谱峰半峰宽变宽,仪器的分辨率下降。载气流速为3.0～3.7L/min时仪器综合性能最佳。此结果对于控制迁移谱仪载气流速有重要的参考意义。
- 林丙涛陈池来孔德义李庄王焕钦程玉鹏王电令梅涛
- 一种石英微振动陀螺
- 本发明公开了一种石英微振动陀螺，包括驱动梁和对应的检测梁，所述驱动梁和检测梁均为相同的四根，四根检测梁一端按90°间隔等分固接于固定块四个方向，四根驱动梁的中部分别固定于检测梁的另一端并与对应的检测梁垂直；四根驱动梁、四...
- 林丙涛朱振忠梅松江黎王宾
- 双端音叉角速度传感器芯片
- 本实用新型公开了一种双端音叉角速度传感器芯片，驱动梁、检测梁的长度方向均沿Y向设置并位于同一平面；两驱动梁的一端部分别连接于中间块同一侧，两检测梁的一端部分别连接于中间块另一侧。两连接桥的一端连接于中间块X向两侧，两连接...
- 林丙涛蒋昭兴翁邦英
- 文献传递
- 一种高灵敏度、抗冲击微半球陀螺电极结构及制作方法
- 本发明公开了一种高灵敏度、抗冲击微半球陀螺电极结构及制作方法，所述电极结构分为上下两层，下层为平面电极，上层是通过工艺方法制作的异形平面电极，整体呈圆孔和圆槽组合的形状，上下两层电极均是敏感谐振壳体边缘的面外运动。所述方...
- 杨峰梅松卢昱瑾贺韵祺卜继军林丙涛周仁侨廖恒王旭东
- 一种高电场激励效率的石英谐振元件设计
- 2016年
- 设计了一种谐振梁为双"W"截面形状的石英音叉谐振元件,通过在梁表面凹槽的两端设置深凹槽,有效提高了凹槽侧壁的陡直性,进而提高了电场的激励效率。经仿真对比,相对于"H"形截面的谐振元件,双"W"形截面的谐振元件的压电激励力提高约58%。设计了元件芯片工艺方案,并在直径50cm的晶片上制作出两种截面形状的谐振元件。测试结果表明,双"W"形截面的谐振元件的品质因数(Q)值和导纳分别由2 387、2 143ns提高至2 648、2 346ns,动态阻抗值由548kΩ降至417kΩ。
- 林丙涛林日乐林朝营赵建华李文蕴
- 关键词：石英谐振器
- 三维电极图形制作方法
- 本发明提供一种三维电极图形制作方法，包括以下步骤：在基片正面分别制作图形化掩膜层和图形化光刻胶，所述图形化光刻胶形成于所述图形化掩膜层上；蚀刻所述基片形成凹槽结构；腐蚀所述图形化掩膜层；依次沉积电极膜层和保护膜金属图层,...
- 林丙涛
- 文献传递
