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王兵

作品数：3 被引量：16H指数：3
供职机构：盐城工学院更多>>
发文基金：江苏省科技厅科技攻关项目江苏省高校自然科学研究项目江苏省高等学校大学生实践创新训练计划项目更多>>
相关领域：金属学及工艺电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 2篇金属学及工艺
  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 3篇化学机械抛光
  • 3篇机械抛光
  • 2篇抛光
  • 2篇抛光垫
  • 2篇蓝宝
  • 2篇蓝宝石
  • 1篇底片
  • 1篇抛光工艺
  • 1篇面粗糙度
  • 1篇晶片
  • 1篇蓝宝石衬底
  • 1篇蓝宝石晶片
  • 1篇计算机
  • 1篇计算机仿真
  • 1篇仿真
  • 1篇表面粗糙度
  • 1篇衬底
  • 1篇粗糙度

机构

  • 3篇盐城工学院

作者

  • 3篇周海
  • 3篇王兵
  • 3篇陈西府
  • 2篇王黛萍
  • 1篇汤云霞
  • 1篇何辉辉
  • 1篇顾建峰

传媒

  • 1篇机械设计与制...
  • 1篇机械工程与自...
  • 1篇现代制造技术...

年份

  • 1篇2009
  • 2篇2008
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
蓝宝石晶片抛光过程运动仿真及实验分析被引量：5
2008年
本文分析了双面抛光机的抛光原理,建立了晶片在抛光过程中运动的数学模型,采用VC语言对双面抛光加工进行运动仿真,分析了不同参数对抛光效果的影响,获得了最合理的抛光运动参数,并且在抛光机上得到了验证。
王兵顾建峰何辉辉汤云霞周海陈西府冶远祥
关键词：蓝宝石化学机械抛光计算机仿真
抛光垫在蓝宝石衬底化学机械抛光中的应用研究被引量：6
2009年
在分析化学机械抛光中常用抛光垫的材质、性能、表面结构基础上,研究了抛光垫对蓝宝石衬底抛光质量的影响规律:材质硬的抛光垫可提高衬底的平面度;材质软的抛光垫可改善衬底的表面粗糙度;表面开槽的抛光垫可提高抛光效率;表面粗糙的抛光垫可提高抛光效率;对抛光垫进行适当的修整可使抛光垫表面粗糙;用聚氨酯类抛光垫能够使得蓝宝石衬底的抛光面小于0.3nm的表面粗糙度。
周海王黛萍王兵陈西府冶远祥
关键词：蓝宝石化学机械抛光抛光垫
化学机械抛光工艺中的抛光垫被引量：5
2008年
抛光垫是晶片化学机械抛光中决定表面质量的重要辅料。研究了抛光垫对光电子晶体材料抛光质量的影响:硬的抛光垫可提高晶片的平面度;软的抛光垫可改善晶片的表面粗糙度;表面开槽和表面粗糙的抛光垫可提高抛光效率;对抛光垫进行适当的修整可使抛光垫表面粗糙。
周海王黛萍王兵陈西府冶远祥
关键词：化学机械抛光抛光垫表面粗糙度
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