王黛萍
- 作品数：5 被引量：27H指数：3
- 供职机构：盐城工学院机械工程学院更多>>
- 发文基金：江苏省科技厅科技攻关项目江苏省自然科学基金江苏省“青蓝工程”基金更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信金属学及工艺更多>>
- 衬底基片表面加工变形问题研究被引量：2
- 2009年
- 在分析衬底基片加工工艺和衬底基片加工试验的基础上,得出导致衬底基片表面变形的因素有:支承盘精度、粘片的方法、衬底基片的表层应力、抛光垫的材质。提出采用较高刚度和硬度的陶瓷支承盘和及时修整,使支承盘保持较高的表面形状精度。采用真空粘片,使衬底基片紧密贴合支承盘。通过双面研磨、双面抛光以及基片表面处理使得衬底基片两面应力一致。根据不同的衬底基片选择硬度适当的抛光垫,从而有效解决衬底基片表面加工变形问题。实现了衬底基片平面度小于5μm。
- 周海王黛萍陈西府
- 关键词：化学机械抛光抛光垫
- 抛光垫在蓝宝石衬底化学机械抛光中的应用研究被引量：6
- 2009年
- 在分析化学机械抛光中常用抛光垫的材质、性能、表面结构基础上,研究了抛光垫对蓝宝石衬底抛光质量的影响规律:材质硬的抛光垫可提高衬底的平面度;材质软的抛光垫可改善衬底的表面粗糙度;表面开槽的抛光垫可提高抛光效率;表面粗糙的抛光垫可提高抛光效率;对抛光垫进行适当的修整可使抛光垫表面粗糙;用聚氨酯类抛光垫能够使得蓝宝石衬底的抛光面小于0.3nm的表面粗糙度。
- 周海王黛萍王兵陈西府冶远祥
- 关键词：蓝宝石化学机械抛光抛光垫
- 衬底基片精密加工过程中宏观质量控制
- 2010年
- 衬底基片的宏观质量包括外形完整性、翘曲度、尺寸精度等。在分析衬底基片精密加工工艺基础上,得出影响宏观质量的因素有:晶片切片方式、粘盘的方法、研磨抛光崩边、表层应力、抛光液的成份。提出采用线切割、真空粘盘,提高坯料的平整度。采用预加工保护倒角、嵌入式行星保持架,防止抛光崩边。根据不同的衬底基片选择合适的抛光垫,配置专用化学机械抛光液,使得衬底基片化学反应速度与机械去除速度协调。从而有效控制衬底基片的宏观质量。实现了衬底基片表面完整、翘曲度小于5微米、厚度误差小于3微米。
- 周海白立刚赵梓皓王黛萍
- 关键词：翘曲度化学机械抛光
- 应用型本科人才的机械创新设计能力培养探索被引量：14
- 2010年
- 根据机械创新的思维方法、创新原理、创新技法,针对盐城工学院机械类专业"重基础理论、重创新精神、强实践技能、强综合素质"的应用型创新人才目标,结合工程实例,提出从打好创新基础、树立创新信心、勇于创新实践等三个方面着手培养机械类大学生创新能力,取得较好的教学效果。
- 周海王黛萍
- 关键词：机械工程教学效果
- 化学机械抛光工艺中的抛光垫被引量：5
- 2008年
- 抛光垫是晶片化学机械抛光中决定表面质量的重要辅料。研究了抛光垫对光电子晶体材料抛光质量的影响:硬的抛光垫可提高晶片的平面度;软的抛光垫可改善晶片的表面粗糙度;表面开槽和表面粗糙的抛光垫可提高抛光效率;对抛光垫进行适当的修整可使抛光垫表面粗糙。
- 周海王黛萍王兵陈西府冶远祥
- 关键词：化学机械抛光抛光垫表面粗糙度
