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极紫外光刻系统中与杂散光有关的镜面加工误差分析方法: 极紫外光刻系统中与杂散光有关的镜面加工误差分析方法，属于光学设计仿真分析领域，解决了在极紫外光刻系统中与杂散光紧密相关的扩展中频粗糙度摄取无统一测量标准或求解方法而导致镜面加工误差分析较低的问题。该方法为：初始暗岛尺寸的...; 王君王丽萍金春水谢耀; 文献传递

扁刺蛾核型多角体病毒新分离株的基因组测序与分析被引量：1: 2023年; 从自然死亡的扁刺蛾幼虫分离到一株核型多角体病毒。扁刺蛾核型多角体病毒新分离株(Oxyplax ochracea nucleopolyhedrovirus-Thosea sinensis,OxocNPV-Ts)具有典型的杆状病毒特征,呈单粒包埋型病毒粒子,病毒颗粒(Occlusion-derived virus,ODV)呈不规则的多边形,直径为0.63μm~1.49μm。OxocNPV-Ts能有效杀灭扁刺蛾幼虫,它对扁刺蛾幼虫的半致死浓度LC50为4×10^(6)PIB/mL,是一种理想的生物防治剂。本实验对OxocNPV-Ts基因组进行了测序和鉴定。OxocNPV-Ts基因组全长114781 bp,包含124个开放阅读框。它与斜纹刺蛾核型多角体病毒(OxocNPV)关系最为密切,序列相似性高达99%。系统进化分析表明,OxocNPV-Ts属于杆状病毒科alpha杆状病毒属(Alphabaculovirus),根据国际病毒分类委员会(International Committee on Taxonomy of Viruses,ICTV)的种属划分标准,OxocNPV-Ts是OxocNPV的一个株系。新报道的基因组为研究该病毒毒力的分子机制提供了理论基础。; 王金昌类承凤陈俊晖占智高况文东关丽梅杨健李江怀周溪靳亮王君; 关键词：基因组测序分析

一种基于遗传算法的光刻衰减型掩模的优化方法: 一种基于遗传算法的光刻衰减型掩模的优化方法属于衰减型掩模优化方法领域，该方法解决了现有技术存在的针对考虑系统所采用的照明方式下的衰减型相移掩模结构没有具体优化方法的技术问题。本发明的优化方法基于遗传算法，用掩模的空间像对...; 王丽萍金春水王君谢耀

一种基于能量守恒定律的光学系统分析设计方法: 本发明提供一种基于能量守恒定律的光学系统分析设计方法，属于光学设计领域，解决了现有光学设计软件中对光学薄膜的处理方式无法对添加光学薄膜的光学系统的成像质量做出合理预估，导致按设计加工所得光学系统无法与光学薄膜兼容的问题。...; 王君王丽萍金春水; 文献传递

一种用于极紫外光刻的类临界照明系统: 用于极紫外光刻的类临界照明系统属于极紫外光刻系统中的临界照明系统领域，该系统包括聚光系统、中继系统、光刻系统真空箱体和波纹管，聚光系统包括光源、聚光主镜、聚光系统次镜、去屑系统和聚光系统真空箱体，去屑系统沿光路布置在光源...; 王君王丽萍金春水谢耀周烽; 文献传递

一种基于光学系统失调量解算的光机结构稳定性评估方法: 一种基于光学系统失调量解算的光机结构稳定性评估方法属于光学系统集成领域，该方法是根据初始时刻和待评估时刻光学系统的波面偏差解算系统失调量，根据系统失调量调整相应补偿器，将调整后系统与初始时刻的系统波面偏差作为是否完成稳定...; 谢耀王丽萍金春水于杰王辉周烽郭本银王君; 文献传递

一种用于弹性发射加工的工具轮: 本发明涉及一种用于弹性发射加工的工具轮，属于光学加工领域。通过在弹性发射加工装置中引入具有连续变化曲率半径的椭球形工具轮，可以增大工具轮与光学元件表面的相互作用区域，从而提高加工效率，尤其是凹面光学元件；此外，由于工作轮...; 王君金春水王丽萍谢耀; 文献传递

全金属缝隙天线在PAF馈源中的应用: 2021年; 对直线缝隙天线进行了理论分析、仿真和优化设计,并制作出实验样机单元。从天线馈电部分分析入手,采用同轴探针馈电方式,内导体利用多个匹配环来改善工作带宽。与传统直线缝隙天线相比,天线主体增加了腔体缝隙结构,实现了天线样机4~12 GHz频段三个倍频程的带宽,E和H面方向图仿真与测试基本一致。全频段最大增益值在4~8 dBi之间,达到了宽带阵列天线的设计要求,为平方公里阵列射电望远镜馈源的应用提供了可能的选择。; 马月马月庞峰王君彭勃; 关键词：馈电宽带

有限距成像系统垂轴放大率的测量方法: 有限距成像系统垂轴放大率的测量方法，涉及光学系统检测领域，解决现有光学系统的垂轴放大率测量方法需要借助在物像面安置小孔板的方式，存在执行成本高，且不易控制实现的问题，在光学系统中载入带标记的光学元件面形，对光学系统进行优...; 金春水谢耀王丽萍郭本银王君; 文献传递

极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用被引量：4: 2014年; 极紫外光刻投影系统中高反膜厚度一般约300nm,远大于13.5nm的工作波长,光能并不能完全穿透膜层入射到基底,从而引入数倍于波长的额外光程差,降低系统成像质量。从能量调制的角度提出了一种基于能量守恒定律的多层膜等效工作界面模型,将光学薄膜中复杂的物理光学过程等效地转换为简单直观的几何光学过程,获取可被常用光学设计软件识别的数据,进而实现对有膜光学系统的分析。利用该模型对不同系统进行了分析优化,获得了一套可实现衍射受限成像的有膜系统方案,证明了基于能量守恒的等效工作界面的有效性,指导后续系统的装调,为多次反射系统的分析提供了一种方法。; 王君金春水王丽萍郭本银喻波; 关键词：光学设计极紫外光刻多层膜能量守恒

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王君