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王永斌

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司更多>>
相关领域：文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文专利

领域

  • 1篇文化科学

主题

  • 3篇圆片
  • 3篇酸雾
  • 3篇微电子
  • 3篇交叉污染
  • 3篇硅片
  • 3篇薄片状

机构

  • 3篇沈阳芯源微电...

作者

  • 3篇王永斌
  • 3篇谷德君
  • 3篇陈焱
  • 3篇陈波

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2011
  • 1篇2010
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种用于圆形薄片状物体进行化学液喷洒处理的装置
本发明涉及化学液喷洒处理领域，具体是一种用于硅片和其它圆形薄片状物体进行化学液喷洒处理的装置，通过处理半导体材质的圆片，从而进一步制备微电子器件。该装置设有处理腔、旋转与升降机构和盖板，处理腔具有径向设置的外层侧壁和内层...
陈波陈焱谷德君王永斌
文献传递
一种用于圆形薄片状物体进行化学液喷洒处理的装置
本实用新型涉及化学液喷洒处理领域，具体是一种用于硅片和其它圆形薄片状物体进行化学液喷洒处理的装置，通过处理半导体材质的圆片，从而进一步制备微电子器件。该装置设有处理腔、旋转与升降机构和盖板，处理腔具有径向设置的外层侧壁和...
陈波陈焱谷德君王永斌
文献传递
一种用于圆形薄片状物体进行化学液喷洒处理的装置
本发明涉及化学液喷洒处理领域，具体是一种用于硅片和其它圆形薄片状物体进行化学液喷洒处理的装置，通过处理半导体材质的圆片，从而进一步制备微电子器件。该装置设有处理腔、旋转与升降机构和盖板，处理腔具有径向设置的外层侧壁和内层...
陈波陈焱谷德君王永斌
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