王登峰
- 作品数：4 被引量：38H指数：3
- 供职机构：国防科学技术大学机电工程与自动化学院机电工程系更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：金属学及工艺化学工程机械工程更多>>
- 光学镜面离子束抛光系统工艺参数研究
- 随着科学技术的发展,天文、军事、科研等对高精度非球面光学元件的需求越来越大,精度要求越来越高,甚至达到亚纳米级的精度要求。目前一些常用的超精密加工方法由于其材料去除机理所限,难以达到纳米级的加工精度。离子束抛光是一种新型...
- 王登峰
- 关键词：工艺参数去除函数
- 离子束加工光学镜面的材料去除特性被引量：25
- 2007年
- 分析了离子束加工光学镜面的材料去除效率、加工损伤厚度以及表面热效应等材料去除评价指标。基于Sigmund溅射理论,分析了此三个评价指标与离子入射角度和离子能量等加工参数的关系,建立了相关模型。以石英玻璃为例,利用TRIM软件仿真离子溅射过程,分析理论模型各参数,具体研究了三个评价指标与离子能量和入射角度的关系。结果表明:材料去除效率随离子能量的增大而缓慢增大,随入射角度增大而显著增大,60°时的去除效率约为0°时的4.5倍;加工损伤厚度随离子能量增大而近似呈线性增大,随入射角度增大而减小;热效应随离子能量近似呈线性增大,而随入射角度增大而减小。因此,离子束加工工艺过程中,应尽量增大离子束入射倾角来同时提高这三方面的指标。
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- 关键词：光学镜面离子溅射热效应
- 束流参数对光学镜面离子束加工去除函数的影响分析被引量：6
- 2008年
- 在离子束光学镜面修形加工中,束函数的形状和大小决定了加工的修形能力和加工效率。虽然束函数的形状和大小可以通过一组工艺参数进行调节,然而,这组工艺参数对束函数影响的理论计算较为复杂,而且理论计算值与实验值也吻合的通常存在差异。为了找出工艺参数对束函数的影响规律,本文通过实验研究了离子束的几个主要的工艺参数(屏栅电压、屏栅电流、加速栅电压、中和极功率、氩气流量)对束函数的影响规律,建立了光学镜面离子束加工基本工艺参数数据库,为光学镜面离子束修形加工的工艺参数选择提供了指导依据。
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- 关键词：去除函数
- 光学镜面离子束加工去除函数工艺可控性分析被引量：11
- 2008年
- 实验分析了离子束加工去除函数的工艺可控性问题并进行了初步修形实验。从工艺实现的角度分析光学镜面离子束加工技术对去除函数的要求,以去除函数环半峰全宽、体积去除率和峰值去除率为评价指标研究去除函数的长时稳定性、线性性、小扰动鲁棒性以及大参数调节变化等特征,以此分析结果为依据,对Φ100mm K4平面样件进行了修形,经过三次迭代面形RMS误差从0.149λ收敛到0.013λ。实验结果表明:离子束加工中的去除函数具有较长时稳定性,去除量对时间具有线性关系,对工艺参数小扰动的鲁棒性,可以通过调节离子源电源参数优化选取去除函数的宽度和幅值;利用离子束可以对镜面进行高效地修形。
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- 关键词：离子束加工去除函数稳定性
