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程娥
作品数:
4
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供职机构:
大连理工大学
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相关领域:
一般工业技术
电子电信
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合作作者
殷志富
大连理工大学
邹赫麟
大连理工大学
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断面
1篇
断面形貌
1篇
形貌
1篇
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1篇
扫描电镜
1篇
凸起
1篇
热塑性
机构
4篇
大连理工大学
作者
4篇
程娥
3篇
邹赫麟
3篇
殷志富
年份
2篇
2015
1篇
2014
1篇
2013
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一种低成本微纳一体化结构的制作方法
本发明属于微机电系统(MEMS)领域,涉及一种低成本微纳一体化结构的制作方法。其特征是利用侧墙工艺制作出纳米硅模具,再利用剥离工艺制作出微米石英模具,然后通过类似紫外纳米压印的方法,将紫外固化光刻胶旋涂在纳米硅模具上,将...
邹赫麟
程娥
殷志富
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一种制备纳米通道断面形貌样品的置换表征方法
本发明公开了一种制备纳米通道断面形貌样品的置换表征法,属于纳米结构表征领域。将未经氧等离子体处理的纳米沟道基板和盖板进行热压键合;将热压键合后的纳米沟道基板和盖板分离、冷冻并掰断,得到纳米沟道断面形貌完好的样品;对基板上...
邹赫麟
殷志富
程娥
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热塑性聚合物二维纳米通道制作方法及理论研究
纳流控芯片具有纳米级的特征结构尺寸,在化学检测、生物分析以及医学工程等领域有着广阔的应用前景。其中,二维纳米通道的宽度和深度尺寸接近于生物大分子尺寸,可以在单分子水平上对生物大分子进行研究,是一种尤为重要的纳流控芯片结构...
程娥
关键词:
热塑性聚合物
一种低成本微纳一体化结构的制作方法
本发明属于微机电系统(MEMS)领域,涉及一种低成本微纳一体化结构的制作方法。其特征是利用侧墙工艺制作出纳米硅模具,再利用剥离工艺制作出微米石英模具,然后通过类似紫外纳米压印的方法,将紫外固化光刻胶旋涂在纳米硅模具上,将...
邹赫麟
程娥
殷志富
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