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程娥

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：大连理工大学更多>>
相关领域：一般工业技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 3篇键合
  • 2篇旋涂
  • 2篇压印
  • 2篇紫外固化
  • 2篇微机电系统
  • 2篇纳米硅
  • 2篇机电系统
  • 2篇价键
  • 2篇共价
  • 2篇共价键
  • 2篇共价键合
  • 2篇电系统
  • 1篇等离子体处理
  • 1篇断面
  • 1篇断面形貌
  • 1篇形貌
  • 1篇制作方法
  • 1篇扫描电镜
  • 1篇凸起
  • 1篇热塑性

机构

  • 4篇大连理工大学

作者

  • 4篇程娥
  • 3篇邹赫麟
  • 3篇殷志富

年份

  • 2篇2015
  • 1篇2014
  • 1篇2013
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
一种低成本微纳一体化结构的制作方法
本发明属于微机电系统（MEMS）领域，涉及一种低成本微纳一体化结构的制作方法。其特征是利用侧墙工艺制作出纳米硅模具，再利用剥离工艺制作出微米石英模具，然后通过类似紫外纳米压印的方法，将紫外固化光刻胶旋涂在纳米硅模具上，将...
邹赫麟程娥殷志富
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一种制备纳米通道断面形貌样品的置换表征方法
本发明公开了一种制备纳米通道断面形貌样品的置换表征法，属于纳米结构表征领域。将未经氧等离子体处理的纳米沟道基板和盖板进行热压键合；将热压键合后的纳米沟道基板和盖板分离、冷冻并掰断，得到纳米沟道断面形貌完好的样品；对基板上...
邹赫麟殷志富程娥
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热塑性聚合物二维纳米通道制作方法及理论研究
纳流控芯片具有纳米级的特征结构尺寸，在化学检测、生物分析以及医学工程等领域有着广阔的应用前景。其中，二维纳米通道的宽度和深度尺寸接近于生物大分子尺寸，可以在单分子水平上对生物大分子进行研究，是一种尤为重要的纳流控芯片结构...
程娥
关键词：热塑性聚合物
一种低成本微纳一体化结构的制作方法
本发明属于微机电系统（MEMS）领域，涉及一种低成本微纳一体化结构的制作方法。其特征是利用侧墙工艺制作出纳米硅模具，再利用剥离工艺制作出微米石英模具，然后通过类似紫外纳米压印的方法，将紫外固化光刻胶旋涂在纳米硅模具上，将...
邹赫麟程娥殷志富
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