贾玉斌
- 作品数：29 被引量：74H指数：6
- 供职机构：北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家重点实验室开放基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术电气工程更多>>
- 高精度隧道式加速度计及其制备方法
- 本发明提供了一种高精度隧道加速度计结构及其制备方法。该隧道加速度计隧尖为圆锥型，支撑梁厚度小于质量块厚度。其制备方法依次包括以下步骤：在硅片上刻蚀浅槽，定出隧尖与对应电极的初始间距；继续刻蚀制备隧尖，并在隧尖上淀积金属作...
- 董海峰贾玉斌郝一龙
- 文献传递
- 移动波导光开关及其制作方法
- 一种移动波导光开关，包括基片、波导悬臂梁、静电梳状驱动电极、平衡折梁和校准点，两对平行而置的波导悬臂梁的端部一一相对，在每对波导悬臂梁的两侧旁各设有至少一对静电梳状驱动电极，其一端通过驱动梁与相对应的波导悬臂梁端部外侧连...
- 贾玉斌郝一龙
- 文献传递
- 硅微机械音叉式谐振器被引量：9
- 2005年
- 应用体硅微机械加工技术,制作了一种双端固定音叉式谐振器。它在音叉的两个臂上连接了梳齿电容结构,用来驱动音叉臂在硅片平面内侧向、反相振动,同时检测音叉的振动频率。当驱动力的频率等于音叉的固有频率时,音叉产生谐振。此时,检测梳齿电容输出的电流最大。用有限元方法对谐振器进行了模态分析和结构优化。音叉臂长800μm,宽5μm,梳齿电容齿长25μm,结构层厚度为80μm,在30V交流电压激励下,测得其谐振频率为25kHz。当音叉受到轴向力的作用时,音叉的固有频率会发生变化,根据这一原理,设计了谐振式加速度计。用有限元分析软件对加速度计工作情况仿真,估算其灵敏度约为2Hz/g。这种音叉式谐振器结构和工艺简单,性能可靠,成本较低,对于进一步研究微机电系统谐振器件具有重要意义。
- 钟莹张国雄郝一龙贾玉斌
- 关键词：微机电系统音叉谐振器加速度计体硅工艺
- 高精度隧道式加速度计及其制备方法
- 本发明提供了一种高精度隧道加速度计结构及其制备方法。该隧道加速度计隧尖为圆锥型，支撑梁厚度小于质量块厚度。其制备方法依次包括以下步骤：在硅片上刻蚀浅槽，定出隧尖与对应电极的初始间距；继续刻蚀制备隧尖，并在隧尖上淀积金属作...
- 董海峰贾玉斌郝一龙
- 文献传递
- 一种微机械光开关理论分析
- 对悬臂梁微机械光开关光学和电学特性进行了理论分析,利用有效折射率方法对波导传播特性进行了分析;基于机械和电学特性导出了弯曲和电压的关系,并给出阈值电压的解析表式。
- 贾玉斌陈良惠李玉璋
- 关键词：光开关悬臂梁阈值电压
- 文献传递
- 一种新型谐振加速度计被引量：3
- 2004年
- 描述了一种新的谐振加速度计,这种加速度计由1个质量块、2个谐振音叉和一套由锚点支撑的弯曲杠杆系统组成.在加速度的作用下,一个音叉受到轴向拉力的作用频率变大;另一个音叉受到轴向压力的作用频率变小.杠杆系统放大了由加速度引起的轴向力,使加速度灵敏度提高.这种加速度计可以用微机械体硅工艺来制作.实验研制的加速度计灵敏度为27.3 Hz/g,分辨率为167.8μg.
- 贾玉斌郝一龙张嵘
- 关键词：微机械加速度计
- 一种新型体硅谐振加速度计(英文)被引量：6
- 2005年
- 设计了一种谐振加速度计 .这种加速度计包括两个双端固定音叉、一个质量块、四套放大惯性力的杠杆系统以及激励和敏感梳 .利用梳状电极每个音叉被静电激励和敏感 .利用MEMS体硅工艺研制了这种新型加速度计 ,测试的灵敏度为 2 7 3Hz/ g ,分辨率为 16 7 8μg .
- 贾玉斌郝一龙张嵘
- 关键词：MEMS加速度计体硅工艺频率漂移
- 一种高灵敏度谐振加速度计芯片
- 一种高灵敏度谐振加速度计芯片，是一种重要的力学量传感器，在汽车、航空航天、地震检测、武器装备等领域都有广泛的应用。该芯片包括基片、质量块、音叉、力学放大系统、驱动电极及敏感电极。所述的质量块为回形，在其中心为两个平行音叉...
- 贾玉斌郝一龙
- 文献传递
- 一种高灵敏度谐振加速度计芯片
- 一种高灵敏度谐振加速度计芯片，是一种重要的力学量传感器，在汽车、航空航天、地震检测、武器装备等领域都有广泛的应用。该芯片包括基片、质量块、音叉、力学放大系统、驱动电极及敏感电极。所述的质量块为回形，在其中心为两个平行音叉...
- 贾玉斌郝一龙
- 文献传递
- 谐振加速度计的非线性分析被引量：13
- 2003年
- 描述了谐振加速度计的工作原理,分析表明,谐振加速度计的特征参量FS是设计谐振加速度计的理论基础;频率相对变化量与梁的厚度无关,增加频率的相对变化量也同时增加了输出信号的非线性度.对由激励振幅产生的谐振传感器非线性特性进行了理论分析,指出振幅Am和非线性因子γ一起构成了类谐振子的非线性项,为了避免谐振器的非线性特性,要求谐振传感器激励振动的振幅不宜过大.
- 郝一龙贾玉斌
- 关键词：谐振传感器振幅
