但敏
- 作品数：13 被引量：89H指数：5
- 供职机构：华中科技大学电气与电子工程学院更多>>
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- 纳米TiO<sub>2</sub>薄膜的低温等离子体制备及其光学性能研究
- 纵观国内外近几年的研究,TiO2作为一种重要的功能薄膜材料,无论在基础理论研究,还是实际应用研究都取得了显著的成果,部分成果已经在太阳能电池、光点转换器、污水处理、空气净化、保洁除菌等领域有着广泛的应用。由于光在硅表面的...
- 但敏
- 关键词：结构特征
- 等离子体增强化学气相沉积制备的ZnO薄膜研究被引量：6
- 2006年
- 鉴于ZnO薄膜材料的多功能性,用等离子体增强化学气相沉积方法在金属Cu和普通玻璃上生长了ZnO薄膜。扫描电子显微镜获得其表面形貌;能谱分析获得其元素种类及相对含量,在能谱图上明显地观察到了Zn峰和O峰的存在,且Cu基上Zn和O原子比接近1∶1;X射线光电子能谱分析得出样品中的Zn和O全部以化合态存在而不存在Zn原子和O原子。但Cu基上的ZnO薄膜易吸收空气中的氧和水蒸汽,薄膜质量期望通过生长合适过渡层得到改善。
- 郭爱波刘玉萍陈枫李斌但敏刘明海胡希伟
- 关键词：等离子体增强化学气相沉积SEMEDAXXPS
- 纳米TiO2薄膜的低温等离子体制备技术研究
- 纵观国内外近几年的研究,TiO作为一种重要的功能薄膜材料,具有化学活性高、分散性好、可见光透过性好及吸收紫外线等优良的理化性能。无论是基础理论研究,还是实际应用研究都取得了显著的成果,部分成果已经在太阳能电池、光电转换器...
- 陈兆权刘明海但敏唐亮饶波胡鹏胡希伟
- 关键词：TIO2薄膜
- 大面积表面波等离子体的特性研究被引量：9
- 2006年
- 介绍一种矩形反应腔体结构的表面波等离子体源,通过对垫层介质及天线结构的优化设计,产生了大面积均匀的等离子体.采用静电探针测量了等离子体参数(密度,电子温度)在不同运行条件(气压,功率)下的空间分布;采用扩散模型,数值模拟了等离子体密度在垂直方向上的空间分布,并比较好地解释了实验测量结果.
- 刘明海菅井秀郎胡希伟石岛芳夫江中和李斌但敏
- 关键词：表面波等离子体数值模拟
- 高介电性能绝缘材料新制备方法的研究被引量：2
- 2006年
- 概述了用于电容器储能的新型绝缘材料的国内外研究现状,介绍用于提高绝缘材料介电性能的新方法,即低温等离子体技术。从低温等离子体的化学活性出发,重点阐述了可以用于制备、改性绝缘材料的不同等离子体技术和这些技术的发展前景。
- 李斌但敏郭爱波刘玉萍陈枫刘明海胡希伟
- 关键词：绝缘材料介电性能低温等离子体技术
- PECVD法制备TiN功能薄膜的研究
- 本文利用等离子体化学气相沉积法在金属基板上沉积制备TiN陶瓷功能薄膜.利用X射线能谱成分分析仪和扫描电子显微镜分析研究了薄膜的成分及其微观形貌,结果表明,采用等离子体化学气相沉积法,成功地在金属基板上沉积了TiN薄膜.
- 但敏李斌陈枫郭爱波刘玉萍刘明海胡希伟
- 关键词：等离子体化学气相沉积
- 文献传递
- 纳米TiO_2薄膜的低温等离子体制备技术研究
- 纵观国内外近几年的研究,TiO_2作为一种重要的功能薄膜材料,具有化学活性高、分散性好、可见光透过性好及吸收紫外线等优良的理化性能。无论是基础理论研究,还是实际应用研究都取得了显著的成果,部分成果已经在太阳能电池、光电转...
- 陈兆权刘明海但敏唐亮饶波胡鹏胡希伟
- 关键词：TIO_2薄膜
- 文献传递
- 羟基磷灰石(HA)的制备方法及其研究进展被引量：13
- 2006年
- HA生物材料作为最有发展前途的生物硬组织替代材料之一,已经成为生物医用材料研究的重点内容。本文在综合了大量的国内外文献的基础上,对羟基磷灰石的不同制备方法及国内外研究现状进行了总结及评论,并提出了相应的设想与展望。
- 但敏李斌陈枫郭爱波刘玉萍刘明海胡希伟
- 关键词：羟基磷灰石HA
- 薄膜太阳能电池的发展动态被引量：19
- 2006年
- 对目前国内外研究得最热的几种薄膜电池:非晶硅(a-Si)、多晶硅(poly-Si)、铜铟硒(CuInSe:CIS)、碲化镉(CdTe)薄膜电池的技术发展概况及商业化生产情况作了介绍,展望了薄膜太阳能电池的发展前景。
- 刘玉萍陈枫郭爱波李斌但敏刘明海胡希伟
- 关键词：薄膜太阳能电池非晶硅多晶硅铜铟硒碲化镉
- 纳米TiO2薄膜的低温等离子体制备技术被引量：3
- 2010年
- 以四氯化钛为源物质,氩气为载气,氧气为反应气体,利用低温等离子体增强化学气相沉积在硅基表面制备出了TiO2薄膜。使用场发射扫描电子显微镜、X射线衍射仪等检测分析表征TiO2薄膜的性能与性质,并探讨了工艺条件如基片材料、沉积时间和基片温度对薄膜性能的影响。结果表明:制备的薄膜表面光滑均匀,结构致密,最小晶粒尺寸约15 nm;薄膜的晶型主要依赖于沉积温度,低于300℃沉积的薄膜是无定形的,300℃之上沉积的薄膜是锐钛矿结构。
- 陈兆权刘明海但敏唐亮程莉莉胡鹏胡希伟
- 关键词：等离子体化学气相沉积二氧化钛薄膜表面形貌光学性能
