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卢红亮

作品数：114 被引量：27H指数：3
供职机构：复旦大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金上海市科学技术委员会资助项目中国博士后科学基金更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术理学自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 102篇专利
  • 6篇期刊文章
  • 3篇会议论文
  • 2篇科技成果
  • 1篇学位论文

领域

  • 20篇电子电信
  • 7篇一般工业技术
  • 5篇理学
  • 4篇自动化与计算...
  • 3篇电气工程
  • 2篇金属学及工艺

主题

  • 21篇纳米
  • 21篇互连
  • 18篇铜互连
  • 17篇淀积
  • 16篇电路
  • 16篇原子层淀积
  • 13篇电镀
  • 13篇阻挡层
  • 13篇纳米材料
  • 13篇扩散阻挡层
  • 12篇集成电路
  • 11篇光电
  • 10篇电镀铜
  • 10篇镀铜
  • 10篇退火
  • 9篇氧化锡
  • 9篇SUB
  • 8篇原子层沉积
  • 8篇半导体
  • 6篇修饰

机构

  • 114篇复旦大学

作者

  • 114篇卢红亮
  • 84篇张卫
  • 22篇孙清清
  • 21篇丁士进
  • 14篇黄伟
  • 11篇耿阳
  • 11篇王鹏飞
  • 7篇周鹏
  • 6篇徐敏
  • 6篇任杰
  • 6篇谢立恒
  • 5篇冯黎
  • 5篇张远
  • 5篇谢章熠
  • 4篇陈玮
  • 4篇王晨
  • 3篇江安全
  • 3篇杨雯
  • 3篇陈志辉
  • 3篇刘文军

传媒

  • 1篇Journa...
  • 1篇物理学报
  • 1篇化学学报
  • 1篇无机材料学报
  • 1篇功能材料
  • 1篇半导体光电
  • 1篇第十届全国工...
  • 1篇全国工程电介...

年份

  • 1篇2025
  • 6篇2024
  • 11篇2023
  • 13篇2022
  • 14篇2021
  • 6篇2020
  • 13篇2019
  • 2篇2018
  • 4篇2017
  • 2篇2016
  • 3篇2015
  • 12篇2014
  • 9篇2013
  • 9篇2012
  • 1篇2011
  • 5篇2006
  • 2篇2005
  • 1篇2003
共 114 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
基于单层有序氧化锡纳米碗支化氧化锌纳米线结构的气敏纳米材料、制备工艺及其应用
本发明公开了一种基于单层有序氧化锡纳米碗支化氧化锌纳米线结构的气敏纳米材料、制备工艺及其应用。本发明首先采用合成条件简单的硬模板法制备单层氧化锡纳米碗材料，然后采用原子层沉积技术和水热法相结合的工艺制备支化氧化锌纳米线，...
卢红亮朱立远袁凯平
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一种基于氮化镓微型发光二极管和光电三极管的单片集成器件及其制备方法
本发明公开了一种基于氮化镓微型发光二极管和光电三极管的单片集成器件及其制备方法。本发明在AlGaN/GaN异质结基板上通过选区外延生长制备微型发光二极管microLED，并与AlGaN/GaN界面的二维电子气原位形成电连...
卢红亮陈丁波
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一种集成电路铜互连结构及其制备方法
本发明属于微电子技术领域，具体为集成电路铜互连结构及其制备方法。本发明采用Ru-N-Ti结构代替传统的TaN/Ta结构作为扩散阻挡层/粘附层/仔晶层。使用原子层沉积镀膜（ALD）方法制备出Ru<Sub>x</Sub>(T...
卢红亮张远耿阳朱尚斌孙清清张卫
文献传递
一种电镀铜溶液
本发明属于半导体集成电路制造技术领域，具体为一种电镀铜溶液。该电镀铜溶液包括：硫酸铜、硫酸、氯离子、烷基丁二酸酯磺酸钠和磺酸盐类。其优点在于调高了电镀液的酸铜比，可以保证在纳米级的深孔中铜层应有的厚度；流动性更好，电镀铜...
卢红亮谢立恒丁士进张卫
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一种利用Fe<Sub>3</Sub>O<Sub>4</Sub>@MXene核壳结构纳米复合物实现β-淀粉样蛋白精确检测的方法
本发明公开了一种利用Fe<Sub>3</Sub>O<Sub>4</Sub>@MXene核壳结构纳米复合物实现β‑淀粉样蛋白精确检测的方法。其采用FAM修饰的β‑淀粉样蛋白适配子（FAM‑apt<Sub>Aβ</Sub>）...
卢红亮温小红
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在扩散阻挡层上制备超薄铜籽晶层的方法及其应用
本发明属于半导体集成电路制造技术领域，具体涉及一种在扩散阻挡层上制备超薄铜籽晶层的方法及其应用。本发明采用原子层沉积方式制备超薄铜籽晶层，包括如下步骤：将双（六氟乙酰丙酮）合铜吸附在扩散阻挡层上，气流量为100-500标...
卢红亮耿阳杨雯孙清清张卫
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基于氮化镓异质结薄膜的双极型光电二极管及其制备方法
本发明公开了一种基于氮化镓异质结薄膜的双极型光电二极管及其制备方法。氮化镓异质结薄膜的主体结构为SiN/GaN/Al<Sub>y</Sub>Ga<Sub>1‑y</Sub>N/AlN/GaN。阴极与异质结界面的二维电子气...
卢红亮陈丁波
能同时检测力的大小和方向的仿蜘蛛网状柔性触觉传感器
本发明公开了一种能同时检测力的大小和方向的仿蜘蛛网状柔性触觉传感器。该传感器整体结构类似于“三明治结构”，其顶电极为柔性可拉伸圆形电极，底电极为作为拉伸敏感模块的采用渗透‑翻模工艺制备的仿蜘蛛网状柔性可拉伸电极，中间为作...
卢红亮赵学峰张卫
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一种氮化铝单晶薄膜的制备方法
本发明属于半导体薄膜材料技术领域，具体为一种氮化铝（AlN）单晶薄膜的制备方法。本发明使用ZnO单晶基片或其他异质材料作为衬底，使用原子层沉积镀膜（ALD）方法生长AlN薄膜，把清洗好的衬底放入反应腔，反应腔温度设为25...
卢红亮张远丁士进张卫
文献传递
一种氧化铪基铁电电容器及其制备方法
本发明公开了一种氧化铪基铁电电容器及其制备方法；本发明的制备方法如下：首先，在Si/SiO<Sub>2</Sub>衬底上采用磁控溅射沉积形成底电极，然后，采用原子层沉积技术生长ZrO<Sub>2</Sub>籽晶层，在籽晶...
卢红亮刘胤池刘文军
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