田扬超
- 作品数：148 被引量：275H指数：9
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- 相关领域：电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>
- 基于薄片云母载基的X线掩模版的研制
- 1998年
- Ｘ－ｒａｙ光刻（ＸＲＬ）是微／纳米光刻技术中至关重要的批量复制技术，ＸＲＬ的发展在于不断对Ｘ－ｒａｙ源、新型的ｓｔｅｐｐｅｒ、Ｘ线掩模版以及相关处理工艺的研究进展。其中，Ｘ线掩模版不仅直接关系到ＸＲＬ的分辨率水平，也极大地影响其使用效率及其费用。我们在此报道一种采用云母薄片作为载片的新型Ｘ－ｒａｙ掩模版，其载片厚为８μｍ，自支撑能力、平直光滑度等几方面都符合高分辨率光刻的要求。基此采用新的工艺可大大简化制作步骤，降低造价，并可在０．５－１．５ｎｍ波长范围内的Ｘ－ｒａｙ光刻中获得实际成功的应用。
- 顾宁沈浩瀛张海黔韦钰韦钰胡一贯田扬超
- 光刻胶纳米结构失效现象的光学特性分析
- 2016年
- 具有纳米结构的光刻胶有着独特的光学特性,其纳米结构参数直接决定其光学特性。通过对光栅脊柱倾斜、粘连和倒伏堆叠这3种结构失效现象建模,利用严格耦合波理论数值,计算了各种失效结构对偏振光的反射率影响。结果表明,脊柱倾斜的纳米光栅对于偏振光反射率最小的波长发生红移;当有粘连时纳米光栅的对偏振光的敏感程度减弱,同时产生衍射级次;倒伏堆叠的纳米光栅产生较强的衍射级次。利用偏振改变与失效形式的关系可以对纳米结构的具体失效形式做出判断,这对于实现微纳结构的无损监测有一定的推动意义。
- 柏杨张晓波熊瑛刘刚田扬超
- 关键词：微纳加工偏振
- 一种X射线曝光间隙控制方法
- 一种X射线曝光间隙控制方法，在X射线掩模的非窗口区域上制作台阶，所述台阶的制作工艺为：首先利用旋涂工艺在掩模上涂上所需厚度的光刻胶或其它聚合物，然后采用光刻工艺或刻蚀工艺在掩模上得到所需高度的台阶；将涂有光刻胶的样品放在...
- 刘刚熊瑛周杰张晓波田扬超
- 合肥光源X射线成像光束线和实验站设计被引量：4
- 2007年
- 在X射线成像光束线光学系统的设计基础上,对光束线的能量分辨率和光子通量进行了计算,并对双晶单色器第一块晶体的热载影响进行了模拟分析,同时利用波带片成像技术对实验站进行了设计,达到了60 nm的空间分辨率.结果表明光束线和实验站的设计能够满足X射线成像实验所需条件的要求.
- 柳龙华刘刚陈洁田扬超
- 关键词：能量分辨率波带片
- 聚合物核壳结构微球的同步辐射显微表征研究被引量：1
- 2011年
- 针对聚合物核壳结构微球的结构特点,引入了同步辐射显微技术对微球的结构和组分进行了初步研究.利用同步辐射X射线显微成像技术对微球的内部形貌进行了表征,观测到壳层内壁大多呈光滑的圆弧,也有局部由若干个小圆弧连接组成;利用同步辐射红外显微光谱法对核内物质的组分进行了研究,结合X射线显微成像技术观察到的微球壳层内壁的高吸收现象,初步验证了微球内铁离子在辐照下被还原的化学反应过程,表明了利用聚合物核壳结构微球来开展化学反应研究是可行的.
- 俞希跃刘刚常振旗李文杰周杰田扬超
- 一种用于水体介电泳细菌分选的芯片
- 本发明的一种用于水体介电泳细菌分选的芯片，包括介电泳细菌分选芯片模块，介电泳细菌分选芯片模块包括腔内结构和腔外结构；腔外结构包括微通道；腔内结构具有多层结构，包括电极层、绝缘层和腔内通道结构；电极层为梯形微结构；腔内结构...
- 田扬超刘刚熊瑛
- 文献传递
- 离子束刻蚀入射角对图形侧壁陡度影响的研究被引量：10
- 2003年
- 介绍了离子束刻蚀的二次效应对图形轮廓以及离子束刻蚀入射角对图形侧壁陡度的影响。利用能量为450eV,束流密度为80mA/cm2的离子束分别以0°、15°、30°、45°和60°的刻蚀入射角对石英基片进行了刻蚀,得到了不同离子束入射角度下的图形侧壁的陡直情况。从电镜照片中可以看出,以30°入射角刻蚀出的图形质量最佳。结果表明,在离子束刻蚀中,选择适当的离子束入射角可以提高图形侧壁陡度,改善图形质量。因此对于离子束刻蚀来说,为控制二次效应,保证图形质量,必须重视离子束入射角的选择。
- 胡新宁刘刚田扬超
- 关键词：离子束刻蚀入射角
- CuO／CeO_2／γ－Al_2O_3催化剂的结构及氧物种被引量：22
- 1994年
- 应用ＸＲＤ、ＥＳＲ及ＸＰＳ方法研究了ＣｕＯ／ＣｅＯ２／γ－Ａｌ２Ｏ３催化剂的体相及表面结构，并对催化剂表面氧物种进行了表征．实验结果表明，ＣｅＯ２使Ｃｕ２＋还原为低价钢离子和增加钢化合物的分散性．催化剂中ＣｅＯ２含量高时，表面有Ｏ２－和Ｏ－物种，而ＣｅＯ２含量低时，只有Ｏ２－物种．
- 田扬超伏义路林培琰
- 关键词：氧化铜氧化锗催化剂氧物种
- 基于软X射线成像菲涅耳波带片精确光学传递函数的离焦图像恢复
- 2017年
- 高分辨率软X射线显微成像已被广泛用于获得样品的三维结构.然而,焦深的受限问题导致样品投影图像离焦模糊,严重影响图像质量.提出了一种基于菲涅尔波带片的光学传递函数离焦图像的恢复方法.利用这种恢复方法,恢复了Siemens star测试板的离焦图像.结果表明,基于光学传递函数的恢复方法能够去除因离焦而造成模糊现象并且恢复由离焦引起的离焦图像.而且,相关的模拟说明这种方法可以真正用于解决X射线显微成像中焦深受限问题,完成样品的三维成像.
- 李法虎关勇熊瑛张晓波刘刚田扬超
- 关键词：光学传递函数图像恢复菲涅耳波带片
- 一种去除微纳结构中溶剂的方法
- 一种去除微纳结构中溶剂的方法，步骤为：(1)在基片上制作微纳结构，利用旋涂工艺在基片上旋涂光刻胶，然后采用光刻工艺在基片材料上得到所需高度的光刻胶结构，也可利用刻蚀工艺将光刻胶结构再转移到基片上，获得所需高度的基片材料微...
- 刘刚熊瑛周杰田扬超
- 文献传递
