熊瑛
- 作品数：49 被引量：40H指数：4
- 供职机构：中国科学技术大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程机械工程更多>>
- 光刻胶纳米结构失效现象的光学特性分析
- 2016年
- 具有纳米结构的光刻胶有着独特的光学特性,其纳米结构参数直接决定其光学特性。通过对光栅脊柱倾斜、粘连和倒伏堆叠这3种结构失效现象建模,利用严格耦合波理论数值,计算了各种失效结构对偏振光的反射率影响。结果表明,脊柱倾斜的纳米光栅对于偏振光反射率最小的波长发生红移;当有粘连时纳米光栅的对偏振光的敏感程度减弱,同时产生衍射级次;倒伏堆叠的纳米光栅产生较强的衍射级次。利用偏振改变与失效形式的关系可以对纳米结构的具体失效形式做出判断,这对于实现微纳结构的无损监测有一定的推动意义。
- 柏杨张晓波熊瑛刘刚田扬超
- 关键词：微纳加工偏振
- 一种X射线曝光间隙控制方法
- 一种X射线曝光间隙控制方法，在X射线掩模的非窗口区域上制作台阶，所述台阶的制作工艺为：首先利用旋涂工艺在掩模上涂上所需厚度的光刻胶或其它聚合物，然后采用光刻工艺或刻蚀工艺在掩模上得到所需高度的台阶；将涂有光刻胶的样品放在...
- 刘刚熊瑛周杰张晓波田扬超
- 一种用于水体介电泳细菌分选的芯片
- 本发明的一种用于水体介电泳细菌分选的芯片，包括介电泳细菌分选芯片模块，介电泳细菌分选芯片模块包括腔内结构和腔外结构；腔外结构包括微通道；腔内结构具有多层结构，包括电极层、绝缘层和腔内通道结构；电极层为梯形微结构；腔内结构...
- 田扬超刘刚熊瑛
- 文献传递
- 一种基于凝胶作用固定大高宽比微纳结构的方法
- 本发明涉及一种基于凝胶作用固定大高宽比微纳结构的方法，其步骤为：(1)配置好热溶胶，浓度为：0.1％～2.0％，热溶胶温度为：50～95℃，凝胶化温度：＜40℃；(2)将热溶胶添加于微纳结构上，改变温度形成凝胶层，并通过...
- 刘刚陈楠熊瑛张晓波田扬超陆亚林
- 文献传递
- 声表面波直线型超声电机的研究
- 声表面波直线型超声电机是一种利用高频声表面波、通过摩擦驱动的步进超声电机,二十世纪末发展起来的最典型一种新型电机.与传统的超声电机相比具有很高的分辨率(高达几个纳米)、高的输出力、高速和高能量密度.另外由于这种电机应用了...
- 熊瑛
- 关键词：超声电机结构参数
- 文献传递
- 一种用于软X射线显微成像的原位电池装置
- 本发明涉及一种用于软X射线显微成像的原位电池装置，包括：上氮化硅片和下氮化硅片；在上下氮化硅片上各开1个上观察窗和1个下观察窗；在上观察窗两侧各开一个抽注液口；在上观察窗另外两侧开至少一个凹槽，在抽注液口和凹槽间刻蚀至少...
- 田扬超丁旭熊瑛关勇吴朝刘刚
- 热压印技术制作纳米光栅被引量：2
- 2008年
- 通过分析脱模过程的摩擦力,讨论了模具表面处理工艺与压模质量的关系,给出了降低脱膜过程摩擦力的工艺方法。实验结果表明,用类聚四氟乙烯膜作为脱模剂能大大减小模具表面与聚合物表面的摩擦力。研究了压模、脱模工艺参数对实验结果的影响,基于HEX-02塑铸系统,真空条件下,在压模温度为195℃,模压压强为8 MPa的环境下,利用热压印技术在PMMA薄膜上复制出周期为120 nm的纳米光栅。
- 熊瑛刘刚田扬超
- 关键词：PMMA
- 一种软X射线冷冻成像样品的制备方法
- 本发明涉及一种软X射线冷冻成像样品的制备方法，步骤如下：(1)在基片上沉积低表面能材料层；(2)根据细胞样品的特征以及软X射线冷冻成像设备的样品座进行掩模设计；(3)在沉积有低表面能材料的基片上制作细胞样品模具结构；(4...
- 刘刚郭亮熊瑛侯双月田扬超
- 一种用于水体多参数快速检测装置及检测方法
- 本发明的一种用于水体多参数快速检测装置及检测方法，装置包括微流控芯片模块，微流控芯片模块包括介电泳细菌分选芯片模块、阻抗细菌测试芯片模块、萃取荧光测试芯片模块、电泳离子芯片模块；微流控芯片模块上设置四个进口，进口一作为样...
- 田扬超刘刚熊瑛
- 文献传递
- 一种微透镜的制作方法
- 本发明公开了一种微透镜的制作方法，该方法的具体步骤为：步骤1)在基片上旋涂负性光刻胶层；步骤2)基于设计好的图形、利用曝光工艺来实现微透镜的平面结构；步骤3)加热回流，冷却后获得预期微透镜结构。首次通过对负性光刻胶曝光并...
- 刘刚熊瑛边锐张晓波田扬超
- 文献传递
