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许强

作品数:1 被引量:1H指数:1
供职机构:复旦大学物理学系李政道物理学综合实验室更多>>
发文基金:基础研究重大项目前期研究专项国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇衍射
  • 1篇射线
  • 1篇退火
  • 1篇快速退火
  • 1篇分子束
  • 1篇分子束外延
  • 1篇X射线
  • 1篇X射线衍射研...
  • 1篇掺硼

机构

  • 1篇复旦大学

作者

  • 1篇陆昉
  • 1篇袁健
  • 1篇许强
  • 1篇王建宝

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇1995
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
重掺硼快速退火分子束外延硅的X射线衍射研究被引量:1
1995年
利用X射线双晶衍射,测量了经过800—1100℃快速退火处理的重掺硼的分子束外延硅中的应变情况,发现应变部分弛豫.并得出外延层与衬底硅的晶格失配与替位硼浓度(7.5×10^(29)—3.1×10^(20)cm^(-3)成正比,比例系数β为5.1.在此测量基础上,提出硼团簇的形成与分解是外延展晶格质量与电学性质变化的主要原因.
许强王建宝袁健陆昉孙恒慧
关键词:分子束外延掺硼快速退火X射线衍射
共1页<1>
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