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聚焦离子束三维纳米螺旋加工技术及纳米螺旋机电特性研究: 本论文开展了基于聚焦离子束(Focusedionbeam，FIB)的三维纳米螺旋加工技术及纳米螺旋机电特性的研究。由于极小的质量、极高的谐振频率以及独特的螺旋结构，纳米螺旋在电学、电磁学以及机械等方面展示出良好的特性，在...; 赖西湖; 关键词：聚焦离子束

FIB加工的三维单晶硅纳米螺旋的机械特性被引量：1: 2007年; 利用聚焦离子束（focused-ion-beam，FIB）刻蚀在纳米厚的单晶硅悬臂梁表面来制备三维纳米螺旋．单端固支的悬臂梁在FIB刻蚀引入的应力下卷曲，通过控制FIB应力引入的角度和间距，可制备出螺径在540～840nm、螺距在1780～2160nm间的系列三维纳米螺旋．利用原子力显微镜对纳米螺旋的机械特性进行了测量与研究．实验测得退火前与退火后的螺旋的横向弯曲弹性系数分别为40．74N／m和16．45N／m，而与之比较的单端悬臂梁的横向弯曲弹性系数在退火前后没有明显的变化．此外，在环境扫描显微镜中进行了螺旋的机构稳定性研究，实验发现FIB刻蚀制备的螺旋结构的稳定性很好．; 赖西湖徐军吴文刚经光银郝一龙; 关键词：聚焦离子束纳机电系统

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赖西湖