金玉丰
- 作品数：158 被引量：86H指数：5
- 供职机构：北京大学深圳研究生院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术机械工程更多>>
- 基于硅材料的微型气体涡轮机中微型燃烧器的设计和加工(英文)被引量：4
- 2005年
- 由微型燃烧器、微型压缩机和涡轮组成的微型气体涡轮发动机有望成为微机电系统的能源系统,阐述了一种微型燃烧器的设计和加工,设计时力图增加流路的长度,其目的是减少微型燃烧腔的热损失和有效地对燃料和空气进行预热,该微型燃烧器由7片厚度不同的单晶硅片组成,通过ICP DRIE干刻蚀加工而成.组装后的微燃烧器的样件尺寸为21.5 mm×21.5 mm×4.4 mm,已成功地进行了氢气燃烧实验和测试.该微型燃烧器和转子组合后可以应用于微型气体涡轮发动机,与压电元件组合后可用于微型发电机。
- 单学传金玉丰王振峰前田龙太郎
- 关键词：微型燃烧器微型压缩机微燃烧器硅材料涡轮发动机微型发电机
- 硅通孔(TSV)的工艺引入热应力及其释放结构设计被引量：3
- 2014年
- 在3DSiP（三维系统级封装）的TSV（硅通孔）的工艺制造过程中，热应力会引发TSV周围的载流子迁移率的改变，进而改变3D系统级封装芯片的性能．针对这一问题，提出了一种TSV热应力释放槽结构，以期解决微机电系统（MEMS）应用的大尺寸TSV的热应力问题．在释放槽内外，硅衬底表面的应力得到有效隔离，表面应力大大降低．在结合可行工艺参数的基础上。通过数值模拟对比了3D与2D模型的区别、不同TSV材料的区别，计算应力释放槽的深度、位置、宽度等因素对硅衬底表面应力释放的效果，给出了TSV应力释放槽的布局建议．研究结果表明含有释放槽的TSV，释放槽外热应力可以减小至无释放槽情况下的40％-60％，保留区域的面积也相应降低．
- 孙汉王玮陈兢金玉丰
- 关键词：数值仿真
- 多层硅材料微型燃烧器的组件装配、检测结构设计及性能评定(英文)
- 2007年
- 本文系《基于硅材料的微型气体涡轮机中微型燃烧器的设计和加工》之续篇,阐述了一种由7层硅片组成的微型燃烧器的组件装配,检测结构设计及其性能评定。用氢气作为燃料,成功地引燃了该燃烧器并使其保持持续稳定的燃烧。用微型K-type热电偶测试和评定了燃烧腔出口处的温度分布以及腔壁的温度。经实验证实,在特定的燃-气比率及流量的条件下,燃烧腔出口处的最高温度可达1 700 K,且排出的废气中残留氢气的含量甚微。
- 单学传金玉丰
- 关键词：微型燃烧器流速热电偶
- RF MEMS器件的研究
- 对微机械电容、微机械电感、微机械谐振器/滤波器、微机械传输线、微机械天线阵列和微机械开关等RF MEMS器件的特点、研究现状及其应用领域进行了综述,并展望了它们未来的发展趋势.
- 缪旻金玉丰武国英
- 关键词：微机械开关
- 文献传递
- 硅、金属、介质膜桥射频微机电系统开关
- 本发明公开了一种硅、金属、介质膜桥RF MEMS开关，其活动桥由支架和硅梁、介质膜、金属膜(同时也是上电极)组成，介质膜制备在活动桥上，而不是制备在信号电极上。采用本发明的技术方案，消除了介质层制备在传输线上引起的信号传...
- 金玉丰张锦文郝一龙张大成王阳元
- 文献传递
- 增强型氮化镓功率器件及其制备方法
- 本发明公开了增强型氮化镓功率器件及其制备方法，该增强型氮化镓功率器件包括衬底、缓冲层、势垒层，势垒层包括设于缓冲层上相互隔离的第一子势垒层和第二子势垒层；第一源极、第一漏极和第一栅极，第二源极、第二漏极和第二栅极，从而形...
- 刘美华金玉丰
- 微机械折叠波导慢波结构冷测特性的研究被引量：5
- 2006年
- 在太赫兹频段,折叠波导行波管因其重要的应用价值已成为一个研究热点.介绍了折叠波导结构和折叠波导行波管,优化设计了一种560GHz行波管器件的结构尺寸,并分别用理论解析方法和软件模拟工具研究了折叠波导慢波结构的冷测特性.文章还对该类折叠波导慢波结构的微加工技术进行了初步的探讨,提出了基于ICP体硅深刻蚀、无电镀铜等组合工艺方案.
- 朱正鹏缪旻瞿波金玉丰冯进军
- 关键词：太赫兹真空电子技术微机电系统
- 一种加工基于无机驻极体的MEMS微发电机的方法
- 本发明公开了加工基于无机驻极体的MEMS微发电机的方法。本发明加工方法，包括如下步骤：1)在无机衬底表面光刻、溅射金属电极，剥离得到下金属电极；2)在无机衬底表面沉积无机驻极体薄膜，经光刻腐蚀形成驻极体图形；3)在硅衬底...
- 张锦文郝一龙金玉丰田大宇王颖陈治宇
- 文献传递
- 一种加工基于无机驻极体的MEMS微发电机的方法
- 本发明公开了加工基于无机驻极体的MEMS微发电机的方法。本发明加工方法，包括如下步骤：1)在无机衬底表面光刻、溅射金属电极，剥离得到下金属电极；2)在无机衬底表面沉积无机驻极体薄膜，经光刻腐蚀形成驻极体图形；3)在硅衬底...
- 张锦文郝一龙金玉丰田大宇王颖陈治宇
- 文献传递
- 基于键合基片的超薄硅PIN高能粒子探测器及制备方法
- 本发明公开了一种基于键合基片的超薄硅PIN高能粒子探测器及其制备方法。该探测器包括键合在一起的器件层硅片和支撑层硅片，以及二者之间的二氧化硅层，其中：所述器件层硅片的正面有掺杂形成的P<Sup>+</Sup>区，所述P<...
- 于民董显山田大宇金玉丰
