于海超
- 作品数：2 被引量：14H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十九研究所更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 硅压阻式压力传感器温度补偿建模与算法研究被引量：10
- 2007年
- 微电子技术的发展促进了硅传感器的加工工艺水平的提高,使硅传感器获得良好的一致性、稳定性和可靠性,而半导体的温度特性使硅压力传感器的零点和灵敏度随温度而发生漂移。针对硅压阻式压力传感器这一"弱点",介绍一种基于压力芯片的惠斯顿电桥建立外接电阻补偿网络的数学模型,利用MatLab优化工具箱提供的优化方法构建算法,对补偿电阻求解,实现对温度漂移的补偿。该方法更有助于基于硅压阻式压力芯片的OEM型产品的大规模量产。
- 孙凤玲于海超王金文方建雷杨永刚
- 关键词：硅压阻式压力传感器漂移
- 基于恒温法的热膜式气体流量传感器的设计被引量：4
- 2009年
- 设计了一种新的基于恒温法的热膜式气体流量传感器,介绍了该传感器的建模过程及其敏感元件的结构设计,并给出了流量传感器的详细设计方案。仿真和实测结果表明:该流量传感器既能对小流量信号敏感又能准确地反映大流量的输出,功耗低于0.1W,响应时间小于50m s,精度可达到0.6%FS,能够满足低功耗、快响应、高精度等性能技术指标的要求。
- 蔡春丽刘志远王惠玲于海超王洪岩
- 关键词：传感器气体流量
