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刘玲

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：辽宁大学物理系更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇各向异性
  • 1篇腐蚀速率
  • 1篇TMAH
  • 1篇粗糙度

机构

  • 1篇辽宁大学

作者

  • 1篇沈桂芬
  • 1篇刘玲
  • 1篇张宏庆
  • 1篇张宏
  • 1篇范军
  • 1篇姚朋军

传媒

  • 1篇微电子学与计...

年份

  • 1篇2003
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
TMAH腐蚀液的研究被引量：2
2003年
TMAH是一种新型的、性能优异的各向异性腐蚀液。文章通过大量对比实验,对该腐蚀液用于<100>、<111>单晶Si片不同电阻率、不同晶向的样品研究了粗糙度和腐蚀速率,得出重要结论。此研究对正确使用TMAH腐蚀液有重要指导意义。
沈桂芬姚朋军张宏刘玲张宏庆范军
关键词：TMAH粗糙度腐蚀速率各向异性
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共1页<1>
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