刘青林
- 作品数：5 被引量：8H指数：1
- 供职机构：天津大学电子信息工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金天津市应用基础与前沿技术研究计划更多>>
- 相关领域：理学自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 有序多孔硅基氧化钨薄膜复合结构气敏性能研究
- 近年来随着工业技术的发展和人类环保意识的增强,气敏传感器的研究越来越受到人们的重视。多孔硅作为一种室温气敏材料,由于其简单的制备方法和独特的微观结构,被广泛研究用于低功耗室温气敏传感器;而氧化钨由于较好的气敏性能也受到越...
- 刘青林
- 关键词：复合结构气敏性质直流磁控溅射法
- n型有序多孔硅基氧化钨室温气敏性能研究被引量：8
- 2013年
- 利用电化学腐蚀方法制备了n型有序多孔硅,并以此为基底用直流磁控溅射法在其表面溅射不同厚度的氧化钨薄膜.利用X射线和扫描电子显微镜表征了材料的成分和结构,结果表明,多孔硅的孔呈柱形有序分布,溅射10min的WO3薄膜是多晶结构,比较松散地覆盖在整个多孔硅的表面.分别测试了多孔硅和多孔硅基氧化钨在室温条件下对二氧化氮的气敏性能,结果表明,相对于多孔硅,多孔硅基氧化钨薄膜对二氧化氮的气敏性能显著提高.对多孔硅基氧化钨复合结构的气敏机理分析认为,多孔硅和氧化钨薄膜复合形成的异质结对良好的气敏性能起到主要作用,氧化钨薄膜表面出现了反型层引起了气敏响应时电阻的异常变化.
- 胡明刘青林贾丁立李明达
- 关键词：二氧化氮
- 一种氮氧化物气体传感器元件的制备方法
- 本发明公开了一种氮氧化物气体传感器元件的制备方法，步骤为:(1)对n型单面抛光的单晶硅片进行清洗；（2）采用双槽电化学腐蚀法在硅片的抛光表面制备孔径尺寸在50-200nm的硅基孔洞有序多孔硅，腐蚀液为6~8%的氢氟酸水溶...
- 胡明李明达刘青林马双云曾鹏
- 文献传递
- 一种硅基纳米尺寸有序多孔硅的制备方法
- 本发明公开了一种硅基纳米尺寸有序多孔硅的制备方法，步骤为：（1）将n型单面抛光的单晶硅片依次放入丙酮溶剂，无水乙醇、去离子水中分别超声清洗；（2）利用双槽电化学腐蚀法在硅片的抛光表面制备多孔硅层，采用质量分数为5~9%的...
- 胡明李明达刘青林闫文君马双云
- 文献传递
- 一种LED辐照激励下的室温NO_2气体传感器研究
- 2013年
- 采用快速热处理的方法,提高了室温下WO3薄膜气体传感器对NO2的敏感特性。首先采用直流对靶磁控溅射的方法在Al2O3陶瓷基底上沉积纳米WO3薄膜,然后在N2∶O2=4∶1的混合气氛中,分别在500,600℃和700℃的热处理温度下对纳米WO3薄膜进行快速热处理。所得样品表面形貌用扫描电子显微镜(SEM)进行观察,晶体结构用X射线衍射仪(XRD)进行表征,在室温下检测经过不同热处理温度的样品在LED光照下的WO3薄膜气体传感器的NO2敏感性能。结果表明:经过600℃快速热处理的样品的气敏性能最好,其具有较大的比表面积,灵敏度最高,在室温下可以达到100,且具有较好的响应恢复特性,测试环境的辅助激励光源LED易与IC集成,具有降低能耗、简便实用的特点。
- 贾丁立胡明李明达刘青林
- 关键词：金属氧化物半导体发光二极管
