孙瑞康
- 作品数：11 被引量：11H指数：2
- 供职机构：西北工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 一种基于SOI晶圆双掩膜刻蚀的垂直梳齿驱动微扭转镜及其制作方法
- 本发明公开了一种基于SOI晶圆双掩膜刻蚀的垂直梳齿驱动微扭转镜及其制作方法，属于微机电系统领域及微细加工领域。该微扭转镜为单边梳齿驱动，具有三层相同结构的可动部分和固定部分。通过给不同的梳齿对施加电压信号，微扭转镜可工作...
- 乔大勇孙瑞康靳倩李晓莹燕彬
- 文献传递
- 一种微机械空间光调制器
- 本发明公开了一种微机械空间光调制器，属于微光机电系统技术及光通信技术领域。该光调制器包括一个周期可调光栅和一个微扭转镜，所述的周期可调光栅从上到下依次包括光栅器件层6和光栅绝缘层5；所述的微扭转镜从上到下依次包括微扭转镜...
- 李晓莹靳倩孙瑞康乔大勇燕斌
- 一种MEMS周期可调光栅衍射特性的实验研究被引量：4
- 2010年
- 介绍了一种周期连续可调的微型可编程光栅.光栅采用静电梳齿驱动,不同驱动电压对应不同周期变化,从而引起特定级次衍射角发生变化.为了测得不同驱动电压下的衍射角变化,搭建了实验测量光学系统,利用激光三角法测量原理及图像处理的方法得出实验结果.测量结果与光栅测量参量计算角度变化基本一致,不同电压下的衍射角变化与不同的周期变化对应良好.
- 李太平李晓莹虞益挺燕斌孙瑞康乔大勇
- 关键词：微机电系统激光三角法图像处理
- 一种周期可调微机械光栅及其制作工艺
- 本发明公开了一种周期可调微机械光栅及其制作工艺，属于微光机电(MOEMS)器件领域。该光栅的特征在于，其基底为玻璃、蓝宝石等绝缘透明材料。其制作工艺为：在基底表面淀积一层金属薄膜；在结构材料的一侧刻蚀出一定高度的锚点；两...
- 苑伟政虞益挺乔大勇孙瑞康燕斌
- 文献传递
- 基于SOI晶圆的MEMS结构制作及划片方法
- 本发明公开了一种基于SOI晶圆的MEMS结构制作及划片方法，属于微机电系统微细加工和晶圆划片领域。该方法的关键在于利用ICP刻蚀的高深宽比效应，采用一张MEMS结构掩膜版与一张与其对应的掩膜版，对SOI晶圆的正反两面进行...
- 李晓莹孙瑞康乔大勇燕斌虞益挺李太平
- 文献传递
- 一种基于SOI晶圆双掩膜刻蚀的垂直梳齿驱动微扭转镜及其制作方法
- 本发明公开了一种基于SOI晶圆双掩膜刻蚀的垂直梳齿驱动微扭转镜及其制作方法，属于微机电系统领域及微细加工领域。该微扭转镜为单边梳齿驱动，具有三层相同结构的可动部分和固定部分。通过给不同的梳齿对施加电压信号，微扭转镜可工作...
- 乔大勇孙瑞康靳倩李晓莹燕彬
- 一种微机械空间光调制器
- 本发明公开了一种微机械空间光调制器，属于微光机电系统技术及光通信技术领域。该光调制器包括一个周期可调光栅和一个微扭转镜，所述的周期可调光栅从上到下依次包括光栅器件层6和光栅绝缘层5；所述的微扭转镜从上到下依次包括微扭转镜...
- 李晓莹靳倩孙瑞康乔大勇燕斌
- 文献传递
- 一种周期可调微机械光栅及其制作工艺
- 本发明公开了一种周期可调微机械光栅及其制作工艺，属于微光机电(MOEMS)器件领域。该光栅的特征在于，其基底为玻璃、蓝宝石等绝缘透明材料。其制作工艺为：在基底表面淀积一层金属薄膜；在结构材料的一侧刻蚀出一定高度的锚点；两...
- 苑伟政虞益挺乔大勇孙瑞康燕斌
- 文献传递
- 一种新型SOG周期可调光栅的制作及其衍射性能测试被引量：5
- 2010年
- 研制了一种基于微光机电系统(MOEMS)技术的新型微型可编程光栅——周期可调光栅。该光栅采用玻璃体上硅(SOG)加工工艺,静电梳齿驱动,具有操作简单、连续可调和宽调制等特点。该光栅在静电驱动力的作用下,周期的变化引起特定级次下单色光衍射角的变化及复色光光谱的偏移。针对该光栅的衍射特性,设计及搭建两套光学系统,根据光栅结构设计参数的理论计算与测量结果基本一致,充分表明该光栅能对光具有良好的调制作用。为该器件在微型光谱仪和光开关的应用提供了技术参考。
- 燕斌苑伟政虞益挺乔大勇孙瑞康李太平
- 关键词：衍射特性
- 基于SOI晶圆的MEMS结构制作及划片方法
- 本发明公开了一种基于SOI晶圆的MEMS结构制作及划片方法，属于微机电系统微细加工和晶圆划片领域。该方法的关键在于利用ICP刻蚀的高深宽比效应，采用一张MEMS结构掩膜版与一张与其对应的掩膜版，对SOI晶圆的正反两面进行...
- 李晓莹孙瑞康乔大勇燕斌虞益挺李太平
