焦飞
- 作品数：45 被引量：33H指数：3
- 供职机构：北京大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金北京市自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信电气工程理学核科学技术更多>>
- 直流磁控反应溅射法制备大面积AZO薄膜的实验研究被引量：7
- 2009年
- 用锌铝合金靶在苏打玻璃上制备大面积AZO半导体透明薄膜,降低了靶材费用。实验中采用靶体旋转的直流磁控溅射工艺,提高了靶材利用率,实现了大面积均匀镀膜,并能获得定向生长的薄膜。文章介绍了采用该方法制备大面积薄膜的实验,并用X射线衍射仪、扫描电子显微镜等多种分析方法对大面积薄膜的结构、形貌、电学性能及光学性能进行分析,实验结果表明,采用合金靶做靶源,氩作工作气体,控制好氧气分压,大功率溅射可以获得定向性好、致密、均匀、透射率高、电阻率低的优质大面积(300 mm×300mm)AZO薄膜。
- 焦飞廖成韩俊峰周震
- 关键词：ZNO反应溅射
- 基底温度对四元叠层硒化法制备铜铟镓硒(CIGS)薄膜的影响被引量：2
- 2009年
- 利用四元叠层硒化法制备了铜铟镓硒(缩写为CIGS)薄膜,重点分析了在叠层法制备CIGS薄膜过程中,基底温度对CIGS薄膜的晶体结构,表面形貌以及各种元素沿深度分布的影响。实验结果表明,在叠层法制备CIGS薄膜时,发现在550℃的基底温度时,不经过退火便可以生成CIGS晶体,表面Ga的含量处于比较合适的范围。而基底温度为500℃,450℃时,只能生成铜铟硒(CIS)晶体,Ga元素表面的含量较少,主要分布在薄膜底部。
- 谢华木廖成焦飞周震韩俊峰赵夔陆真冀
- 超导腔的干式处理方法
- 本发明提供了一种超导腔的干式处理方法，其特征在于，将超导腔作为阴极、基片作为阳极，在真空条件下电离惰性气体，利用电离后产生的等离子体对超导腔表面进行溅射处理，其中，所述的基片是吸附气体能力强的金属或合金。与化学抛光、电抛...
- 郝建奎赵夔黄森林焦飞
- 文献传递
- 大面积铜铟镓硒薄膜太阳能电池的研究
- 本文对大面积铜铟镓硒薄膜太阳能电池进行了研究。主要内容如下：
1、阐述了三元叠层硒化法制备CIGS太阳能薄膜电池的方法，该方法的主要优点在于各溅射靶材之间的污染很小、可以通过电压与电流精确控制各种元素含量、由于...
- 焦飞
- 关键词：太阳能电池
- 提高射频超导加速腔性能的表面干式处理研究被引量：2
- 2005年
- 射频超导谐振腔以其优越性在加速器领域起到了常温加速腔无法替代的作用.超导腔的表面特性直接影响到加速腔的性能.为进一步提高超导腔的加速性能,北京大学利用超高真空氩离子清洗技术发展了一种超导腔表面的干式处理方法.与传统的湿处理方法(化学抛光BCP和电抛光EP)相比,干式处理方法具有其特有的优点,有可能成为一种新的超导腔表面处理方法,对提高加速腔的性能起到推动作用.进一步的研究正在进行之中.
- 郝建奎焦飞黄森林朱风赵夔
- 关键词：干式超导腔化学抛光电抛光氩离子
- 一种用非晶光子结构提高LED封装器件出光效率的制备方法
- 本发明公开了一种用非晶光子结构提高LED封装器件出光效率的制备方法。本发明利用傅里叶变换理论设计，非晶光子结构能够精准的与相关波长的光子作用，有效提高大于全反射角的光的透射，相比光子晶体结构，非晶光子结构对出光效率的提升...
- 陈志忠陈毅勇詹景麟聂靖昕潘祚坚邓楚涵席鑫康香宁焦飞沈波
- 一种micro LED芯片的显微拉曼结合光致发光检测装置及其方法
- 本发明公开了一种micro LED芯片的显微拉曼结合光致发光检测装置及其方法。本发明将多面棱镜与CCD面阵探测器结合，从而将一维排列的光斑阵列采用二维面阵的CCD面阵探测器接收，得到每一个光斑的光谱分布，不需要复杂的激光...
- 陈志忠潘祚坚焦飞张树霖康香宁陈怡帆詹景麟陈毅勇聂靖昕沈波
- 文献传递
- 一种用非晶光子结构提高LED封装器件出光效率的制备方法
- 本发明公开了一种用非晶光子结构提高LED封装器件出光效率的制备方法。本发明利用傅里叶变换理论设计，非晶光子结构能够精准的与相关波长的光子作用，有效提高大于全反射角的光的透射，相比光子晶体结构，非晶光子结构对出光效率的提升...
- 陈志忠陈毅勇詹景麟聂靖昕潘祚坚邓楚涵席鑫康香宁焦飞沈波
- 文献传递
- 一种micro LED芯片的显微拉曼结合光致发光检测装置及其方法
- 本发明公开了一种micro LED芯片的显微拉曼结合光致发光检测装置及其方法。本发明将多面棱镜与CCD面阵探测器结合，从而将一维排列的光斑阵列采用二维面阵的CCD面阵探测器接收，得到每一个光斑的光谱分布，不需要复杂的激光...
- 陈志忠潘祚坚焦飞张树霖康香宁陈怡帆詹景麟陈毅勇聂靖昕沈波
- 文献传递
- 溅射方法干式处理超导加速腔表面的研究与分析
- 2009年
- 详细研究了利用超高真空氩离子清洗技术发展的一种超导铌腔表面的"干式"处理方法,从微观和宏观角度分析了溅射处理对铌的表面特性和对超导腔性能的影响.与传统的"湿式"处理方法(化学抛光BCP和电抛光EP)相比,干式处理方法具有结构简单、容易控制、没有污染等优点,是一种很有潜力的超导腔处理方法,可以提高超导腔的性能.
- 朱凤焦飞全胜文郝建奎赵夔
- 关键词：溅射形貌分析
