您的位置: 专家智库 > >

文献类型

  • 8篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 8篇欧姆接触
  • 8篇欧姆接触电极
  • 8篇接触电极
  • 8篇硅器件
  • 7篇电致发光
  • 7篇发光
  • 6篇硅基
  • 5篇电致发光器件
  • 5篇溅射
  • 5篇发光器件
  • 5篇磁控
  • 4篇氧化钛
  • 4篇直流反应磁控...
  • 4篇硅片
  • 4篇硅片清洗
  • 4篇二氧化钛
  • 4篇反应磁控溅射
  • 4篇磁控溅射
  • 3篇氧化钛薄膜
  • 3篇二氧化钛薄膜

机构

  • 10篇浙江大学

作者

  • 10篇章圆圆
  • 9篇陈培良
  • 9篇杨德仁
  • 9篇马向阳
  • 6篇阙端麟
  • 1篇李东升

传媒

  • 1篇激光与光电子...

年份

  • 1篇2012
  • 3篇2010
  • 3篇2009
  • 3篇2008
10 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
一种增强硅基二氧化钛器件的电致发光的方法
本发明公开了一种增强硅基二氧化钛器件的电致发光的方法,该方法是通过在硅衬底上利用溅射、热氧化、蒸发或者溶胶-凝胶等方法制备TiO<Sub>2</Sub>薄膜,然后利用等离子体增强化学气相沉积设备对TiO<Sub>2</S...
马向阳杨德仁章圆圆陈培良阙端麟
文献传递
一种硅基二氧化钛电致发光器件的制备方法
本发明公开的硅基二氧化钛电致发光器件,在硅衬底的正面自下而上依次沉积有TiO<Sub>2</Sub>薄膜和透明ITO电极,在硅衬底背面沉积有欧姆接触电极。其制备步骤如下:先将P型或N型硅片清洗后放入直流反应磁控溅射装置的...
杨德仁马向阳章圆圆陈培良阙端麟
文献传递
硅基TiO2薄膜及发光器件
二氧化钛(TiO2)是一种新型半导体材料,在光催化、太阳能电池和电学器件等领域有重要的应用前景,成为目前国际学术界关注的一个重点。TiO2是间接禁带半导体,因此其室温带边发光的效率非常低。尽管如此,由于TiO2具有与缺陷...
章圆圆
关键词:二氧化钛薄膜电致发光器件磁控反应溅射电子束蒸发
文献传递
一种硅基二氧化钛电致发光器件及其制备方法
本发明公开的硅基二氧化钛电致发光器件,在硅衬底的正面自下而上依次沉积有TiO<Sub>2</Sub>薄膜和透明ITO电极,在硅衬底背面沉积有欧姆接触电极。其制备步骤如下:先将P型或N型硅片清洗后放入直流反应磁控溅射装置的...
杨德仁马向阳章圆圆陈培良阙端麟
文献传递
一种基于二氧化钛薄膜的紫外电致发光器件
本发明公开了一种基于二氧化钛薄膜的紫外电致发光器件,在硅衬底的正面自下而上依次形成SiO<Sub>2</Sub>薄膜、TiO<Sub>2</Sub>薄膜和透明ITO电极,在硅衬底背面沉积欧姆接触电极。本发明同时公开了该紫...
马向阳章圆圆陈培良杨德仁
文献传递
一种电致发光器件及其制备方法
本发明公开的电致发光器件是二氧化钛电致发光的器件,由硅衬底、自下而上依次沉积在硅衬底正面的TiO<Sub>2</Sub>薄膜和ITO电极以及沉积在硅衬底背面的欧姆接触电极组成。其制备步骤如下:先将P型或N型硅片清洗后放入...
杨德仁马向阳章圆圆陈培良阙端麟
文献传递
室温电抽运硅基ZnO薄膜的随机激光
2008年
在硅衬底上制备了基于ZnO多晶薄膜的金属-绝缘层-半导体(MIS)器件,该MIS器件在室温下被施以不断增大的正向偏压时,来自于ZnO薄膜的紫外发光从自发辐射转变为受激辐射,并产生随机激光。
马向阳陈培良李东升章圆圆杨德仁
关键词:硅基ZNO薄膜随机激光
一种基于二氧化钛薄膜的紫外电致发光器件
本发明公开了一种基于二氧化钛薄膜的紫外电致发光器件,在硅衬底的正面自下而上依次形成SiO<Sub>2</Sub>薄膜、TiO<Sub>2</Sub>薄膜和透明ITO电极,在硅衬底背面沉积欧姆接触电极。本发明同时公开了该紫...
马向阳章圆圆陈培良杨德仁
文献传递
一种电致发光器件及其制备方法
本发明公开的电致发光器件是二氧化钛电致发光的器件,由硅衬底、自下而上依次沉积在硅衬底正面的TiO<Sub>2</Sub>薄膜和ITO电极以及沉积在硅衬底背面的欧姆接触电极组成。其制备步骤如下:先将P型或N型硅片清洗后放入...
杨德仁马向阳章圆圆陈培良阙端麟
文献传递
一种增强硅基二氧化钛器件的电致发光的方法
本发明公开了一种增强硅基二氧化钛器件的电致发光的方法,该方法是通过在硅衬底上利用溅射、热氧化、蒸发或者溶胶-凝胶等方法制备TiO<Sub>2</Sub>薄膜,然后利用等离子体增强化学气相沉积设备对TiO<Sub>2</S...
马向阳杨德仁章圆圆陈培良阙端麟
文献传递
共1页<1>
聚类工具0