肖琦
- 作品数：3 被引量：2H指数：1
- 供职机构：天津理工大学更多>>
- 发文基金：天津市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 磁控共溅射法制备Zn_(1-x)Cr_xO薄膜及其结构性能
- 2010年
- 本文采用磁控共溅射方法在玻璃衬底上制备了Cr掺杂ZnO薄膜,通过改变Cr溅射功率,从而改变Cr的掺杂量.介绍了Zn1-xCrxO薄膜的制备方法,分别用X射线衍射(XRD)和X射线光电子能谱(XPS)对不同Cr溅射功率的一系列薄膜的结构,成份、元素含量及价态等性能进行了分析.结果表明,Cr溅射功率为20 W的样品,具有最好的c轴择优取向,Cr以+3价形式掺入薄膜中,Cr3+替代了部分Zn2+.
- 朱珊珊陈希明肖琦吴小国
- 关键词：磁控共溅射
- 磁激励RF-PECVD法低温制备类金刚石薄膜及其特性被引量：2
- 2010年
- 采用磁激励射频等离子体增强化学气相沉积(M-RF-PECVD)方法,室温下分别在玻璃和Si(100)衬底上制备类金刚石(DLC)薄膜,通过扫描电镜(SEM)、傅里叶红外光谱(FTIR)和Raman光谱对不同沉积条件下制备的薄膜进行表征。结果表明,在反应压强为30 Pa、入射功率为50 W、CH4/Ar=5/90、衬底温度为40℃的实验条件下,制备的含氢DLC薄膜表面平整、结构致密,膜基结合度良好,薄膜中以sp3键为主。
- 肖琦杨保和朱珊珊
- 适用于SAW传感器的DLC/ZnO/Si，DLC/ZnO/金刚石多层膜研究
- 化学毒气是严重威胁人的生命安全的一类气体总称。因此,需要在有人工作和生活的环境中实时高效的检测周围气体中有毒成分的含量。特别是对那些极有可能发生中毒事件的高危地区。声表面波气体传感器以其高灵敏度,响应速度快,体积小,成本...
- 肖琦
- 关键词：SAWRF-PECVDDLC多层膜
- 文献传递
