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赵崇凌

作品数：32 被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司更多>>
发文基金：国家教育部博士点基金辽宁省博士科研启动基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学一般工业技术经济管理电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 27篇专利
  • 5篇期刊文章

领域

  • 4篇理学
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇经济管理
  • 1篇化学工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 13篇PECVD
  • 10篇氮化硅
  • 8篇氮化
  • 7篇平板
  • 6篇光伏
  • 5篇电池
  • 5篇平板式
  • 5篇装载
  • 5篇卸载
  • 5篇进气
  • 4篇氮化硅薄膜
  • 4篇体硅
  • 4篇晶体硅
  • 4篇硅薄膜
  • 4篇覆膜
  • 4篇传输系统
  • 3篇单腔
  • 3篇电器
  • 3篇真空
  • 3篇太阳能

机构

  • 28篇中国科学院
  • 4篇东北大学
  • 2篇中国科学院沈...

作者

  • 32篇赵崇凌
  • 26篇张健
  • 24篇徐宝利
  • 23篇张冬
  • 22篇李士军
  • 22篇洪克超
  • 18篇钟福强
  • 17篇陆涛
  • 16篇赵科新
  • 13篇李松
  • 13篇王刚
  • 13篇王学敏
  • 13篇郭玉飞
  • 13篇刘兴
  • 13篇许新
  • 12篇张振厚
  • 9篇段鑫阳
  • 5篇高振国
  • 5篇奚建平
  • 5篇崔秀伟

传媒

  • 1篇物理学报
  • 1篇功能材料
  • 1篇真空
  • 1篇电子工业专用...
  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 2篇2016
  • 4篇2015
  • 5篇2013
  • 6篇2012
  • 2篇2011
  • 7篇2010
  • 2篇2009
  • 2篇2008
  • 1篇2007
  • 1篇2002
共 32 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
球形脉冲激光溅射沉积装置
本实用新型涉及激光法制备各类薄膜的设备，具体地说是一种球形脉冲激光溅射沉积装置，球形真空室的圆周表面上设有样品口、靶口及激光口，第一、二激光口的轴线在球形真空室的上视基准面上，且第一激光口的轴线平行于Z轴，第二激光口的轴...
赵科新郭东民赵崇凌张冬王云琴李重茂徐宝利高树爱吕鑫淼赵长存刘传舜冯育强
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一种平板PECVD氮化硅覆膜系统
本实用新型涉及氮化硅(SiNx)薄膜领域，具体为一种平板PECVD氮化硅覆膜系统。该系统设有装载腔I、装载腔II、工艺腔、卸载腔I和卸载腔II，装载腔I、装载腔II、工艺腔、卸载腔I和卸载腔II为模块化的五个腔体，装载腔...
张振厚赵科新赵崇凌李士军张健张冬洪克超段鑫阳徐宝利钟福强陆涛
文献传递
工艺气体比例对微波MOCVD沉积氧化铝膜性能影响
2016年
AlO薄膜作为高效太阳能电池中P层钝化薄膜引起了光伏龙头企业的关注。本文利用自主研发的线性微波等离子增强化学气相沉积系统(LMW-MOCVD)在单晶硅基体上用不同N_2O和TMA特气比例制备氧化铝膜层样品,并通过SEM、SE800椭偏仪对薄膜的成分、表面形貌、厚度、沉积速度、折射率测试分析。实验结果表明,随着N_2O比例增大,薄膜中O/Al原子比例有上升趋势;膜层沉积速度显著降低;膜层折射率开始趋于稳定而后迅速降低。所以,工艺气体比例对LMW-MOCVD沉积氧化铝膜的性能有明显影响。
张健巴德纯赵崇凌杜广煜刘坤
关键词：氧化铝薄膜折射率
一种全自动大型平板PECVD氮化硅覆膜制备系统
本实用新型涉及光伏电池片薄膜制备装置，具体地说是一种多腔室在真空条件下连续工作的全自动大型平板PECVD氮化硅覆膜制备系统，包括自动传输装载台、预热室、PECVD室、冷却室及自动传输卸载台，其中预热室、PECVD室及冷却...
赵科新赵崇凌李士军洪克超段鑫阳张振厚张冬张健徐宝利钟福强奚建平高振国崔秀伟
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一种平板PECVD氮化硅覆膜的系统
本实用新型涉及氮化硅(SiNx)薄膜领域，具体为一种平板PECVD氮化硅覆膜的系统。该系统设有装载腔I、装载腔II、工艺腔、卸载腔I和卸载腔II，装载腔I、装载腔II、工艺腔、卸载腔I和卸载腔II为模块化的五个腔体，装载...
张振厚赵科新赵崇凌李士军张健张冬洪克超段鑫阳徐宝利钟福强陆涛
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一种全自动下传输系统
本发明属于PECVD的传输系统领域，具体地说是一种全自动下传输系统。包括装载台、升降传输、下传输系统、卸载台，所述下传输系统包括4个传输工位、固态继电器及PLC，其中每个传输工位均由电机、传感器以及传输型材组成，所述电机...
雷震霖赵崇凌李士军张健张冬洪克超徐宝利钟福强陆涛许新王刚刘兴郭玉飞王学敏李松
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一种用于晶体硅太阳能PECVD装备的多区控温平板加热器
本实用新型涉及平板加热器，具体地说是一种用于晶体硅太阳能PECVD装备的多区控温平板加热器，包括至少一个加热平板，在该加热平板上至少设有一个辐射加热线圈，在所述辐射加热线圈对应的加热温区上连接有控制该加热温区温度的温控表...
张振厚赵崇凌李士军张健张冬洪克超徐宝利钟福强陆涛许新王刚刘兴郭玉飞王学敏李松
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一种大型板式PECVD设备真空腔室的迷宫进气装置
本发明涉及进气装置，具体地说是一种大型板式PECVD设备真空腔室的迷宫进气装置，安装在真空腔室上，包括第一、二回填分气板、回填分气管、进气法兰、短管对焊接管及密封紧固件，进气法兰安装在真空腔室上，短管对焊接管位于真空腔室...
张振厚赵崇凌李士军张健张冬洪克超徐宝利钟福强陆涛许新王刚刘兴郭玉飞王学敏李松
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一种平板PECVD氮化硅覆膜系统
本发明涉及氮化硅薄膜领域，具体为一种平板PECVD氮化硅覆膜系统。该系统设有装载腔、工艺腔和卸载腔，装载腔、工艺腔和卸载腔为模块化的三个腔体，装载腔和工艺腔相通，工艺腔和卸载腔相通；装载腔的外侧依次设置装载台和进载台，卸...
张振厚赵科新赵崇凌李士军张健张冬洪克超段鑫阳徐宝利钟福强陆涛
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提高晶体硅太阳能电池转换效率的多层膜结构
本实用新型涉及一种多层膜结构，特别涉及一种可以提高晶体硅太阳能电池转换效率的多层膜结构。所述多层膜为至少两层的硅系膜层该多层膜结构可以用作太阳能电池片上的钝化层/减反射层。可以通过在沉积工艺期间通过向常规前驱气体混合物在...
雷震霖赵崇凌李士军张健张冬洪克超徐宝利钟福强陆涛许新王刚刘兴郭玉飞王学敏李松
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