金其海
- 作品数：6 被引量：20H指数：3
- 供职机构：中国计量科学研究院更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
- 计量型原子力显微镜纳米测量系统
- 高思田叶孝佑邵宏伟杜华金其海
- 计量型原子力显微镜属于被测物移动型AFM，它的计量化是由一体化三维激光干涉系统实现的。它由三台微型平面麦克尔逊干涉仪构成，固接在原子力显微镜上。干涉仪的分辨率均为0.1nm，可同时测出测量台与扫描部件的静止部分间在AFM...
- 关键词：
- 关键词：原子力显微镜
- 一种用于纳米计量的原子力显微镜测头的设计被引量：3
- 2006年
- 介绍了我们研制的一种高精度、具有计量学意义的原子力显微镜测头.该显微测头与其它部件协同工作在50 mm×50 mm×2 mm的测量范围内实现纳米级精度的测量.测头采用光束偏转法检测探针悬臂的微小偏移,由单模保偏光纤引入半导体激光作为光源.该测头安装有3个立体反射镜作为激光干涉仪的参考镜.样品与原子力显微镜测头的相对位置可以由激光干涉仪直接读数,可溯源到米国际定义及国家基准上.激光干涉仪的布置无阿贝误差.测头采用立体光路设计,结构紧凑.测头厚度小于20 mm,质量约200 g,却实现了100 mm的反射光程.使用该测头测得与量块表面的力-距离曲线,还测得标称高度300 nm SiO2台阶样板的图像,分辨率优于0.05 nm.
- 卢明臻高思田金其海崔建军杜华高宏堂
- 关键词：原子力显微镜阿贝误差
- 对计量型原子力显微镜纳米测量系统的比对验证
- 2005年
- 原子力显微镜是广泛应用的纳米测量仪器。中国计量科学研究院成功研制了计量型原子力显微镜纳米测量系统,本文介绍了该系统的技术特点和指标,并通过与发达国家的比对测试验证了该系统在测量原理、测量精度及可溯源性方面已达到了国际先进水平。
- 杜华高思田金其海朱小平
- 用于纳米级三维表面形貌及微小尺寸测量的原子力显微镜被引量：10
- 2004年
- SPM是在纳米尺度上进行测量的重要的测量仪器之一 ,随着SPM进入工业测量领域 ,SPM的校准、量值溯源和测量不确定度分析已经成为SPM能够作为计量仪器使用的关键所在。文章论述了一种计量型原子力显微镜的构成、校准以及在国际比对中的应用。
- 高思田叶孝佑邵宏伟杜华金其海杨自本陈允昌
- 关键词：AFM校准表面形貌微小尺寸测量原子力显微镜
- 激光干涉共焦显微镜被引量：5
- 2004年
- 光学共焦显微镜现己广泛地应用于微机械、生物样品、材料及微电子器件的三维测量,但经典的光学共焦显微镜由于原理性限制,其分辨率与精确度远低于接触式传感器。现结合双频激光干涉仪和共焦显微镜的优点,使激光干涉共焦显微镜不仅横向分辨率高,而且使纵向分辨率达到0.1nm,扩展不确定度U95=13.4nm,使之能测量纳米量级形位变化,而且测量值直接溯源至激光波长。
- 邵宏伟徐毅高思田叶孝佑陈允昌金其海许婕
- 关键词：计量学共焦显微镜双频激光干涉仪
- 原子力显微镜测头系统的研究
- 本课题旨在研制一种高精度的原子力显微镜测头系统，应用在课题“2.5维大范围纳米结构测量系统”中，作为其测头使用。
本文给出了一种原子力显微镜测头系统的设计方法、实验研究和性能评价。通过对国内外研究现状和各种测量...
- 金其海
- 关键词：原子力显微镜光电探测测头
- 文献传递
