党元兰
- 作品数：57 被引量：67H指数：5
- 供职机构：中国电子科技集团第五十四研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术化学工程更多>>
- 一种低损耗石英探针的制备方法
- 本发明公开了一种低损耗石英探针的制备方法，其特征在于在双面抛光的石英基片上，通过磁控溅射、光刻、电镀、刻蚀、划片等工艺，获得低损耗、一致性好的石英探针。本发明所述的石英探针，具有硬度高、损耗低、精度高的优点。该方法加工一...
- 赵飞党元兰梁广华刘晓兰刘巍巍杨宗亮唐小平朱二涛严英占王康徐亚新
- 基于体硅MEMS技术的悬浮微结构加工工艺研究被引量：3
- 2015年
- 针对体硅MEMS加工技术的特点,确定了悬浮微结构的加工工艺流程,并对加工过程中的硅基深槽腐蚀工艺和ICP刻蚀工艺这两项关键技术及其中的重要影响因素进行了研究,得到了硅基深槽腐蚀的溶液类型、浓度和温度等工艺参数,以及ICP刻蚀工艺的功率、气体流量等工艺参数。根据优化的工艺参数,采用厚度为400μm的N型<100>硅片加工了外形尺寸为3 mm×3 mm、线宽尺寸为100±2μm、硅槽深度为390±2μm的悬浮微结构样件。
- 刘晓兰刘晓兰朱政强党元兰
- 关键词：体硅工艺ICP刻蚀
- 一种毫米波RF MEMS开关的制备方法
- 本发明涉及MEMS器件制造领域，特别涉及一种毫米波RF MEMS开关的制备方法，主要包括高阻硅片表面多晶硅及二氧化硅的生长、硅片清洗、CPW图形制作、RF传输线上氮化硅绝缘层的制作、RF传输线氮化硅绝缘层上导体层的制作、...
- 党元兰赵飞梁广华刘晓兰徐亚新董自强唐小平朱二涛杨宗亮严英占王康
- 文献传递
- 液态感光阻焊油墨筛选工艺试验
- 板电路组装后清洗后，液态感光阻焊膜外观出现“发白、发雾”现象，严重影响印制板的外观质量。通过工艺试验研究，分析原因，筛选出性能优良的阻焊油墨。
- 贺彩霞党元兰
- 关键词：波峰焊清洗液助焊剂耐热性
- 文献传递
- 低成本大口径碳纤维复合材料天线反射面制造及应用被引量：2
- 2008年
- 通过对室温固化环氧树脂/碳纤维体系材料的选择和成型工艺的研究,采用室温湿法固化和真空袋压相结合的成型工艺成功制造出大口径碳纤维复合材料天线反射面,其成本较中温固化成型降低50%以上。该反射面已用于口径1.2m的车载抛物面天线,满足Ka及Ka以下频率的使用要求。
- 党元兰王海东李金良金超王庆东
- 关键词：碳纤维复合材料天线反射面
- 一种薄膜石英探针的设计与加工制造方法被引量：7
- 2015年
- 为满足微波电路中低损耗的使用要求,基于石英基板设计了一款Ka频段石英基板微带探针,应用波导来进行能量传输。分析了该款探针作为波导与微带结构转换的电路设计原理及工艺设计方案。在明确设计结构和工艺方案的基础上,通过实现双面精准对位、改善膜层附着力、改善光刻条件和确保切割质量等方面对石英探针的加工制造进行控制。通过对探针实物的测试,测试结果满足使用要求,具有良好的应用前景。
- 赵飞王斌党元兰
- 关键词：仿真附着力光刻
- LTCC电路加工中的关键技术分析被引量：26
- 2013年
- LTCC电路是实现3D立体封装的有效形式之一,从LTCC电路的组成材料出发,概述了LTCC电路的特点及典型的生产流程,提出了LTCC电路加工中需要解决的问题,分析了加工中孔互连、印刷控制、层叠环境、烧结控制和腔体保护加工等关键技术以及不同加工方式对产品质量的影响。
- 赵飞党元兰
- 关键词：通孔丝网印刷腔体
- 一种RF MEMS器件光刻胶牺牲层的释放方法
- 本发明公开了RFMEMS器件制造领域的一种RFMEMS器件光刻胶牺牲层的释放方法，主要包括去膜剂浸泡、去离子水浸泡、异丙醇浸泡、环己烷浸泡和快速冷冻升华干燥步骤。过程中所用材料环保，且对器件上的金属膜层无损伤；采用本发明...
- 党元兰梁广华刘晓兰徐亚新赵飞严英占唐小平杨宗亮朱二涛王康
- 一种基于LCP多层堆叠技术的MEMS器件的封装方法
- 本发明公开了一种基于LCP多层堆叠技术的MEMS器件的封装方法，其特征在于在双面抛光的硅基片上，通过溅射、光刻、刻蚀、电镀等工艺，获得MEMS器件，同时形成易于引出、对位精确的硅凹槽；基于LCP多层堆叠技术，在多层LCP...
- 赵飞党元兰徐亚新梁广华刘晓兰唐小平王康
- 一种LTCC基板表面高精度电阻的制备方法
- 本发明涉及LTCC、薄膜及混合基板制造领域，特别涉及一种LTCC基板表面高精度电阻的制备方法，主要包括LTCC基板研磨抛光、清洗、腔体填充、电阻图形制作、电极图形制作、退火、电阻阻值测量步骤。采用本发明的技术方案，可使L...
- 党元兰赵飞刘晓兰徐亚新梁广华唐小平严英占卢会湘朱二涛杨宗亮王康
- 文献传递
