刘海涛
- 作品数：9 被引量：10H指数：2
- 供职机构：中国科学院上海技术物理研究所更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术电气工程机械工程更多>>
- 用吉时利4200-SCS和590 CV分析仪测试MOS结构的界面态
- 本文用吉时利4200-SCS和590CV分析仪测出MOS结构的高低频C-V特性曲线,计算出MOS结构Si/SiO2的界面态密度与电压的关系.根据MOS结构上所加电压与表面势的关系,以及在禁带中表面势与能量之间的关系,求出...
- 董金珠刘海涛张建新江美玲梁平治
- 关键词：吉时利界面态分析仪
- 文献传递
- 空间红外光机扫描遥感仪器的变速扫描装置
- 本发明公开了一种用于空间红外光机扫描遥感仪器的变速扫描装置，该装置包括：储能弹簧、套筒、轴承座、微轴承、圆盘和步进电机。其特征在于：圆盘的外径为标准圆，圆盘的内径R为变化的非标准圆，称为变阻尼轮廓。当步进电机转动时，套筒...
- 王跃明刘强刘海涛黄立峰刘银年王建宇薛永祺
- 文献传递
- 微悬臂梁非致冷红外焦平面的研究
- 非致冷红外焦平面已有二十余年的研究历史，随着微机械加工技术的长足发展，国外的研究与发展已相当成熟，其规模和性能在不断提高，应用日益广泛。而国内在该领域的研究起步较晚，在某些关键工艺和技术上尚未取得突破，目前关于非致冷红外...
- 刘海涛
- 关键词：微悬臂梁非致冷红外焦平面读出电路单片集成
- 基于keithley model 590对微悬臂梁电容的测试
- 本文在硅基上制作的微悬臂梁和硅衬底组合形成微悬臂梁电容.微悬臂梁在吸收红外辐射后温度变化并弯曲,导致微悬臂梁电容大小发生改变.利用测微小电容的keithleymodel590可检测微悬臂梁电容的微小变化,从而得到红外辐射...
- 刘海涛董金珠陈永平梁平治
- 关键词：KEITHLEY微悬臂梁电容
- 文献传递
- 微悬臂梁非制冷红外探测器的研究被引量：1
- 2004年
- 本文介绍基于标准硅工艺的非制冷红外探测器的设计和建造。由于氮化硅和金的热膨胀系数有很大的差别,用这两种材料做成的双材料片在红外辐射下会发生热弯曲。用偏振光对弯曲程度进行检测,在CCD上呈现偏振光的干涉图案。它完全消除了由电路引入的噪声。目前能够实现的噪声等效温差(NEDT)在1K左右,但其理论值仅为几mK。
- 刘海涛陈永平梁平治
- 关键词：微悬臂梁非制冷红外探测器氮化硅热膨胀系数偏振光
- 微悬臂梁非致冷红外探测器的研制被引量：5
- 2006年
- 介绍了一种基于标准硅工艺的微悬臂梁非致冷红外探测器的设计和制作.由于氮化硅和铝的热膨胀系数相差很大,用这两种材料的薄膜做成的双材料微悬臂梁在红外辐射下温度升高并发生弯曲,微悬臂梁和衬底形成一个可变电容,通过检测电容的变化来反映微悬臂梁的弯曲,从而可以探测红外辐射的情况.利用外部测试设备对单元探测器进行测试表明,该微悬臂梁对红外辐射有很高的响应.
- 刘海涛陈永平梁平治
- 关键词：非致冷红外探测器微悬臂梁电容微电子机械系统
- 一种新型非致冷红外探测器被引量：4
- 2005年
- 介绍一种基于标准硅工艺、采用电容读出方式微悬臂梁非制冷红外探测器的设计、制作及性能测试。用这两种热膨胀系数相差很大材料(氮化硅和铝)的薄膜做成的双材料徽悬臂梁在红外辐射下,温度升高并发生弯曲。通过检测微悬臂梁和衬底形成的一个可变电容变化可以得知微悬臂梁的弯曲情况,从而可以探测红外辐射的信息。利用外部测试设备对单元探测器进行测试表明微悬臂梁对红外辐射有很高的响应。
- 刘海涛
- 关键词：非制冷红外探测器微悬臂梁
- 基于电容读出的非制冷红外探测器被引量：1
- 2006年
- 介绍了一种基于标准硅工艺的电容读出式微悬臂梁非制冷红外探测器的设计、制作以及集成读出电路的设计。该探测器用于探测室温下物体的红外辐射,其响应波长为8～12μm。由于氮化硅和铝的热膨胀系数相差很大,用这两种材料的薄膜做成的双材料微悬臂梁在红外辐射下会发生弯曲,微悬臂梁和衬底形成一个可变电容,通过检测电容的变化来反映微悬臂梁的弯曲,从而可以探测红外辐射的情况。采用和探测器集成的CMOS读出电路对探测器信号进行读取,微悬臂梁的电容灵敏度可达2.5 fF/K,温度分辨率为0.1 K。
- 刘海涛
- 关键词：非制冷红外探测器微悬臂梁读出电路
- 空间红外光机扫描遥感仪器的变速扫描装置
- 本发明公开了一种用于空间红外光机扫描遥感仪器的变速扫描装置，该装置包括：储能弹簧、套筒、轴承座、微轴承、圆盘和步进电机。其特征在于：圆盘的外径为标准圆，圆盘的内径R为变化的非标准圆，称为变阻尼轮廓。当步进电机转动时，套筒...
- 王跃明刘强刘海涛黄立峰刘银年王建宇薛永祺
- 文献传递
