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曾鸿祥
作品数:
2
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供职机构:
国立台湾大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
机械工程
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合作作者
谭伟石
南京大学物理学院固体微结构物理...
丁永凡
中国科学院高能物理研究所
吴忠华
中国科学院高能物理研究所
吴小山
南京大学物理学院固体微结构物理...
蒋树声
南京大学物理学院固体微结构物理...
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低温生长的Ge/Si超晶格界面结构的X射线散射研究
2002年
低温下用MBE方法生长了Ge/Si超晶格。X射线近边吸收限精细结构研究表明,Ge与Si再Ge/Si界面处存在化学混合。X射线反射及横向散射研究表明,Ge亚层上下表面的粗糙度呈反对称,下表面大的粗糙度来源于Ge向Si亚层中扩散形成SiGe混合组分结构:这种组分结构可以用一平均成份的SiGe合金层加以拟合,从而使得各亚层均有一个合理的粗糙度。旋转样品进行的X射线散射研究表明,这种SiGe的混合是各向同性的,这与透射电子显微镜的研究结构相一致。
吴小山
谭伟石
蒋树声
吴忠华
丁永凡
曾鸿祥
关键词:
X射线
粗糙度
光电特性
低温生长的Ge/Si超晶格界面结构的X射线散射研究
<正>纳米结构的 Ge/Si 超晶格或 SiGe 合金由于其优异的光电特性近年来受到人们的青睐。高温下(500-700℃)用 Stranski-Krastanov 方法生长的三维 Ge 团簇结构(或纳米结构,3D-Ge ...
吴小山
谭伟石
杨立
黄秀清
蒋树声
吴忠华
丁永凡
曾鸿祥
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