皋华敏
- 作品数：6 被引量：7H指数：1
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>
- 低电压下静电力驱动的数字微流控芯片
- 微全分析系统(μTAS)或芯片实验室(LOC)具有微型化、自动化、集成化与便携化的特点，近年来发展迅速，在生物检测、医疗诊断等方面显现出良好的应用前景。在这些系统中，精确操控微液体是最关键的部分。数字微流控芯片相对连续微...
- 刘翔皋华敏李铁周萍王跃林
- 关键词：微全分析系统
- 文献传递
- 静电力驱动的液滴数字传输芯片被引量：1
- 2010年
- 设计制作了一种基于静电力驱动的数字微流芯片。通过优化芯片的结构,采用硅为衬底,TiW/Au为微电极阵列,较薄的氮化硅和碳氟聚合物为介质层和疏水膜层,驱动电压大为降低。目前已成功实现了在30V的驱动电压下,对去离子水液滴的两维驱动,液滴移动速度可达96mm/s,同时也实现了对0.9%质量浓度NaCl溶液液滴的驱动。分析结果验证了液滴是在静电力的作用下实现移动。
- 皋华敏李铁许磊刘翔王翊周萍王跃林
- 关键词：静电力液滴
- 具有深亚微米孔结构的数字微液滴驱动器及制作方法
- 本发明涉及具有深亚微米孔结构的数字微液滴驱动器结构及方法，其特征在于所述的数字液滴驱动器包括双极板和单极板两种结构：所述的双极板的结构的下层极板由绝缘衬底、驱动电极阵列、介质层、深亚微米孔结构和疏水膜层构成，上层极板包括...
- 李铁皋华敏刘翔周萍王跃林
- 文献传递
- 库仑力驱动的液滴数字传输芯片研究
- 通过操控液滴方法实现的数字微流控芯片，由于没有可动部件、不需要微管道结构、控制简单、溶液利用率高、兼容性好等优点，得到了国际上的广泛关注。本论文设计、制作并测试了基于库仑力驱动的数字液滴传输芯片。
论文首先介绍了目...
- 皋华敏
- 低电压下静电力驱动的数字微流控芯片被引量：6
- 2011年
- 设计并制作了一种基于静电力驱动的数字微流控芯片,用于构建芯片实验室。介绍了静电力驱动原理和芯片制作工艺流程,搭建了驱动检测实验平台。该芯片采用硅作衬底,氧化硅作绝缘层,TiW/Au为驱动电极阵列,氮化硅作介质层,碳氟聚合物为疏水层。由于采用开放式的结构,只需单层共平面控制电极,简化了工艺流程,优化了器件结构;而驱动电极阵列嵌入在氧化硅中,改善了减小介质层厚度时介质层对金属的台阶覆盖性,减少了电极边沿突起引起的边界击穿。另外,采用较薄的高质量介质层和疏水性能好的疏水膜层,大大降低了液滴驱动电压。实验显示,在20 V驱动电压下,该工艺可实现液滴按程序设定方式在二维平面内流畅运动,最大运动速度达96 mm/s。提出的芯片制作工艺简单,与IC工艺兼容,可应用于生化分析芯片实验室系统。
- 刘翔皋华敏李铁周萍王跃林
- 关键词：微流控芯片液滴静电驱动低工作电压
- 具有深亚微米孔结构的数字微液滴驱动器及制作方法
- 本发明涉及具有深亚微米孔结构的数字微液滴驱动器结构及方法，其特征在于所述的数字液滴驱动器包括双极板和单极板两种结构：所述的双极板的结构的下层极板由绝缘衬底、驱动电极阵列、介质层、深亚微米孔结构和疏水膜层构成，上层极板包括...
- 李铁皋华敏刘翔周萍王跃林
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