虞一青
- 作品数：12 被引量：13H指数：2
- 供职机构：苏州大学更多>>
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- 相关领域：理学电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 一种等离子射流装置和组件
- 本实用新型公开了一种等离子射流装置和组件，其包括接地的空心杆状金属外管体(2)，其特征在于，还包括：绝缘管(3)、金属阴极体(4)、金属阳极体(6)、进气通道(8)。本实用新型能够阻挡封装玻璃中的钠离子进入硅片表面，从而...
- 辛煜沈铭唐成双王哲李昊虞一青
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- 单、双频激发的容性耦合等离子体诊断实验研究
- 低气压下的容性耦合等离子体(CCP)技术在现代微细加工过程中发挥着重要作用。在半导体工业生产中，需要对薄膜进行各向异性刻蚀。基于等离子体放电的干法刻蚀工艺在这一过程中发挥了不可替代的作用。由于集成电路特征尺寸的不断减小和...
- 虞一青
- 关键词：干法刻蚀发射光谱
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- 一种弱导热性物质比热容测定仪
- 本实用新型公开了一种弱导热性物质比热容测定仪，包括箱体，所述箱体顶壁两侧中间位置固定连接有伸缩杆，两个所述伸缩杆顶壁固定连接有同一安装板，所述安装板上下两侧壁中心位置之间开设有凹槽，所述安装板顶壁位于凹槽开口处固定安装有...
- 孙宝印徐亚东周坤杨俊义虞一青
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- 一种等离子射流装置和组件以及一种晶硅电池表面氧化和除污的方法
- 本发明公开了一种等离子射流装置和组件以及一种晶硅电池表面氧化和除污的方法，其包括接地的空心杆状金属外管体(2)，其特征在于，还包括：绝缘管(3)、金属阴极体(4)、金属阳极体(6)、进气通道(8)。本发明能够阻挡封装玻璃...
- 辛煜沈铭唐成双王哲李昊虞一青
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- 电容耦合的抑制对感应耦合放电等离子体的影响被引量：1
- 2005年
- 感应耦合等离子体(ICP)是微电子工业刻蚀高精度沟槽结构的首选高密度等离子体源。研究ICP的电特性与等离子体电学参量的变化显得非常重要。本文中,在平板型ICP源的感应线圈和介质窗口之间,使用了对称、均匀、呈辐射状的法拉第屏蔽板。结果表明,屏蔽板的使用不仅极大地降低了干扰等离子体参量测量的等离子体射频电位,而且也降低了线圈中的放电电流和等离子体中的轴向微分磁场信号强度,但Ar等离子体的发射光谱表明,法拉第屏蔽的采用对等离子体功率吸收的影响不大。对测量信号中出现的高次谐波行为也做了定性的讨论。
- 辛煜宁兆元狄小莲虞一青
- 关键词：感应耦合等离子体电容耦合
- 电负性气体的掺入对容性耦合Ar等离子体的影响被引量：4
- 2013年
- 本文利用朗缪尔静电探针对掺入了电负性气体O2,Cl2,SF6的由4068MHz激发的单射频容性耦合Ar等离子体进行了诊断测量.测量结果表明:随着电负性气体流量的增加,电子能量概率分布函数出现了高能峰,高能峰且有向高能侧漂移的现象;电负性气体掺入Ar等离子体后显著降低了等离子体的电子密度;电子温度随着电负性气体流量比的增加而升高.另外,本文还测量了掺入三种电负性气体后在不同流量比下的混合气体等离子体的电负度α.对实验现象进行了初步的解释.
- 洪布双苑涛邹帅唐中华徐东升虞一青王栩生辛煜
- 关键词：电子密度电子温度
- 甚高频激发的容性耦合Ar+O_2等离子体电负特性研究被引量：2
- 2017年
- 利用探针辅助的脉冲激光诱导负离子剥离诊断技术对掺入5%O_2的容性耦合Ar等离子体电负特性进行了诊断研究.首先详细解析了脉冲激光剥离后探针的电信号,分析了探针偏压在低于或高于空间电位下的探针收集信号特征;根据探针偏压与探针收集信号之间的依赖关系,用来描述Ar+O_2等离子体电负特性的等离子体电负度被定义为脉冲激光剥离出的电子电流与偏压高于空间电位的探针收集到的背景电子电流的饱和比值,并对等离子体电负度随放电气压、射频功率以及轴向位置的变化进行了诊断测量.实验结果表明等离子体的电负度随着射频功率的增加而减小、随着放电气压的上升而变大;由于非对称电极的分布特性,在轴向方向上靠近功率电极时等离子体电负度有升高的趋势,这种趋势可能与鞘层边界附近二次电子的动力学行为以及负离子的产生与消失过程有关.
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- 多源感应耦合等离子体的产生及等离子体诊断被引量：3
- 2006年
- 基于单组多匝线圈的小腔体感应耦合等离子体,研究了线圈配置与耦合效率等之间的关联,并将实验结果应用到多组并联螺旋天线感应耦合等离子体放电体系中.采用了改进的朗谬尔探针方法对单源和多源感应耦合等离子体的电参量分别进行了表征.结果表明,使用多螺旋天线并联方式可以产生低气压高密度的感应耦合等离子体放电,通过调整工艺参量,可以将等离子体密度和光刻胶的刻蚀均匀性控制在80%以上.
- 辛煜狄小莲虞一青宁兆元
- 关键词：朗谬尔探针
- 一种等离子射流装置和组件以及一种晶硅电池表面氧化和除污的方法
- 本发明公开了一种等离子射流装置和组件以及一种晶硅电池表面氧化和除污的方法，其包括接地的空心杆状金属外管体(2)，其特征在于，还包括：绝缘管(3)、金属阴极体(4)、金属阳极体(6)、进气通道(8)。本发明能够阻挡封装玻璃...
- 辛煜沈铭唐成双王哲李昊虞一青
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- 一种分光计用可电动微调的双光栅
- 本实用新型公开了一种分光计用可电动微调的双光栅，包括安装基板，所述安装基板上下两侧壁中心位置之间开设有凹槽，所述安装基板顶壁两侧呈前后对称固定安装有双轴电机，所述安装基板顶壁呈对称设置有光栅本体，所述光栅本体前后两侧壁中...
- 孙宝印徐亚东周坤杨俊义虞一青
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