邓凯
- 作品数：5 被引量：9H指数：2
- 供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电气工程更多>>
- 聚酰亚胺振动膜微型电场传感器被引量：2
- 2004年
- 设计并分析了一种新型的以硅为基底、聚酰亚胺为振动膜的微型电场传感器。此种传感器利用了聚酰亚胺耐热、耐腐蚀并具有良好机械性能的特点,采用MEMS技术制造,使其具备体积小、重量轻、功耗低、便于与其他器件集成等特点,而且制作工艺简单,成本较低。本文阐述了此传感器的工作原理,并通过计算机模拟确定了增强信号的方法,同时描述了新型传感器的结构设计和加工工艺过程。
- 龚超夏善红邓凯白强陈绍凤
- 关键词：电场传感器有限元分析微机电系统
- 微型器件的自装配技术被引量：4
- 2003年
- 自组装技术起源于生物化学领域。20世纪90年代以来,这种新型的装配技术得到了关注并且经历了较快的发展,同时在微机电系统(MEMS)等研究领域显示了潜在的应用前景。本文阐述了自组装技术的发展,介绍了多种自组装方法,包括利用毛细力、重力以及亲水(疏水)力作为驱动的多种自组装过程,着重总结了自组装技术在MEMS领域的应用。
- 邓凯夏善红
- 关键词：微机电系统毛细作用
- MEMS电场传感器的设计与工艺研究
- 本课题基于微机械加工技术、利用电荷感应原理，针对空间低频及静电场的检测进行了器件的方案设计和加工工艺研究。按照不同的技术路线和电荷感应方式，提出三类MEMS电场传感器，分别是体加工平行振动式、表面加工平行振动式和体加工垂...
- 邓凯
- 关键词：微机电系统深刻蚀
- 文献传递
- 多驱动电极垂直限幅振动式微型电场传感器被引量：1
- 2005年
- 设计了一种具有四个驱动电极和独特支撑结构并基于 MEMS技术制作的微型电场传感器。该传感器的四个驱动电极具有完全相同的形状,在使用时可以将其中的两个用作驱动,另外两个作为振动检测电极,监控振动情况。传感器的支撑结构可以限制振动幅度,使传感器在脉冲信号驱动下也能稳定工作。因此该电场传感器除了具备其它微型电场传感器的优点以外,还可以根据应用场合的需要选择不同的驱动模式。从而可以根据具体应用的要求,使用较简单的测试系统减轻重量,或使用较复杂的测试系统提高测试的精度和稳定性。本文介绍了此种传感器的结构,工作原理以及三种不同的驱动模式的实现方法,并讨论了不同模式的应用场合。
- 龚超邓凯陶虎白强陈绍凤夏善红
- 关键词：电场传感器微机电系统
- 基于SOI衬底加工的微型电场传感器研究(英文)被引量：1
- 2004年
- 提出了一种基于微机械技术的微型电场传感器.该器件由振动部分和感应电极组成,通过静电梳齿结构驱动,并利用溅射到衬底的栅状金电极作为工作电极.基于SOI衬底加工的设计流程能够简化悬浮结构的制备.由于器件运动中受滑膜阻尼作用,因此可在大气下测试和封装,能够节约成本.阐述了器件的工作原理、结构仿真以及其键合/减薄工艺流程.该器件具有小尺寸和批量生产的优势,有望在安全预警和航天器升空环境探测等方面得以 应用.
- 邓凯夏善红龚超白强陈绍凤
- 关键词：SOI小尺寸键合电场传感器环境探测
