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周美强

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
相关领域：文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文专利

领域

  • 1篇文化科学

主题

  • 2篇三维形貌
  • 2篇数据采集
  • 2篇数据采集和控...
  • 2篇微机电系统
  • 2篇可靠性
  • 2篇可靠性评估
  • 2篇环境控制
  • 2篇机电系统
  • 2篇测试装置
  • 2篇电系统
  • 1篇增透
  • 1篇增透膜
  • 1篇密闭环境
  • 1篇激光
  • 1篇激光共聚焦
  • 1篇共聚焦
  • 1篇光学
  • 1篇光学测量
  • 1篇光学窗口
  • 1篇玻片

机构

  • 3篇中国科学院

作者

  • 3篇朱银芳
  • 3篇杨富华
  • 3篇周威
  • 3篇周美强
  • 3篇杨晋玲
  • 1篇唐龙娟

年份

  • 1篇2011
  • 2篇2010
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
微机电系统机械组元可靠性评估的测试装置及方法
一种微机电系统机械组元可靠性评估的测试装置，包括：一光学测量单元，用于测量微机电系统机械组元的轮廓曲线，获得被测微机电系统机械组元在失效前后的三维形貌信息或动态位移信息；一环境腔室，用于放置被测微机电系统机械组元，所述各...
杨晋玲周威周美强朱银芳杨富华
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微机电系统机械组元可靠性评估的测试装置及方法
一种微机电系统机械组元可靠性评估的测试装置，包括：一光学测量单元，用于测量微机电系统机械组元的轮廓曲线，获得被测微机电系统机械组元在失效前后的三维形貌信息或动态位移信息；一环境腔室，用于放置被测微机电系统机械组元，所述各...
杨晋玲周威周美强朱银芳杨富华
适用于激光共聚焦测量装置的光学窗口片
本实用新型公开了一种适用于激光共聚焦测量装置的光学窗口片，该光学窗口片包括：光学玻片(101)；蒸镀在光学玻片(101)正面的正面增透膜(102)；以及蒸镀在光学玻片(101)背面的背面增透膜(103)。该光学窗口片使用...
杨晋玲周美强周威唐龙娟朱银芳杨富华
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