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杨绪军

作品数:4 被引量:5H指数:1
供职机构:中北大学更多>>
发文基金:国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:电子电信自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇专利
  • 1篇科技成果

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇探测器
  • 3篇热释电
  • 3篇红外
  • 2篇晶片
  • 2篇红外探测
  • 2篇红外探测器
  • 1篇性能研究
  • 1篇抛光
  • 1篇气体传感
  • 1篇气体传感器
  • 1篇热释电红外
  • 1篇热释电红外探...
  • 1篇热释电探测器
  • 1篇晶体
  • 1篇绝热层
  • 1篇集成式
  • 1篇减薄
  • 1篇键合
  • 1篇红外气体传感...
  • 1篇红外吸收

机构

  • 4篇中北大学

作者

  • 4篇杨绪军
  • 3篇张文栋
  • 2篇熊继军
  • 2篇梁庭
  • 2篇薛晨阳
  • 2篇刘俊
  • 1篇李靖
  • 1篇张倩倩
  • 1篇牛坤旺
  • 1篇谭秋林
  • 1篇雷程
  • 1篇王楷群
  • 1篇韩雨
  • 1篇任晓力
  • 1篇殷亚飞
  • 1篇杨玉华
  • 1篇陈箫
  • 1篇刘岗

传媒

  • 1篇电子元件与材...

年份

  • 2篇2012
  • 1篇2011
  • 1篇2010
4 条 记 录,以下是 1-4
排序方式:
晶体集成式红外探测器的设计及制备工艺研究
针对红外探测器在军事、医疗卫生、环境监测等领域越来越广泛的应用,本文提出了一种晶体集成式红外探测器的设计和制备工艺。晶体集成式红外探测器是非制冷型探器,具有以下特点:1)可以在室温下工作,而且制造成本低;2)对各个波长的...
杨绪军
关键词:晶片热释电探测器
文献传递
一种热释电红外探测器及其制备方法
本发明公开的是一种基于晶片键合技术实现的热释电红外探测器及其制备方法。所述热释电红外探测器包括硅衬底(1)、硅衬底(1)表面的绝热层(2)、键合层(3)、热释电材料片(4)、上电极层(6)及红外吸收层(7),其中所述硅衬...
梁庭杨玉华薛晨阳雷程杨绪军张文栋刘俊熊继军
文献传递
微型红外气体传感器
薛晨阳谭秋林梁庭熊继军张文栋刘俊任晓力王楷群韩雨殷亚飞张倩倩李靖杨绪军
微型红外气体传感器来源于某横向合作课题,该产品是利用MEMS加工技术,研制基于红外光学原理的气体传感器。并将其应用于危险化学品的安全生产、运输、仓储等过程中的泄露问题进行实时监测,为安全生产提供重要保证。经过项目组成员努...
关键词:
关键词:红外气体传感器探测器
铌酸锂晶片的键合减薄及热释电性能研究被引量:5
2011年
铌酸锂(LN)作为一种热释电材料,可以被用于制作光电探测器敏感单元的敏感层,但通常LN晶片厚度为0.5 mm,远大于光电敏感单元厚度的要求,所以需要用键合减薄及抛光技术对LN晶片进行加工处理。本研究所用键合减薄技术主要包含:RZJ-304光刻胶键合、铣磨、抛光、剥离液剥离和丙酮清洗RZJ-304胶。利用该技术加工得到了面积为10 mm×10 mm,厚度为50μm,表面比较光滑,表面粗糙度为1.63 nm的LN晶片。LN晶片的热释电信号峰峰值在减薄抛光后为176 mV,是未经处理时的4倍,满足了热释电探测器敏感层的要求。
杨绪军陈箫刘岗牛坤旺张文栋
关键词:键合减薄抛光
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