2025年3月25日
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杨绪军
作品数:
4
被引量:5
H指数:1
供职机构:
中北大学
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
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合作作者
张文栋
中北大学电子与计算机科学技术学...
刘俊
中北大学
薛晨阳
中北大学
梁庭
中北大学
熊继军
中北大学
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热释电红外探...
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热释电探测器
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晶体
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绝热层
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集成式
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减薄
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键合
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红外气体传感...
1篇
红外吸收
机构
4篇
中北大学
作者
4篇
杨绪军
3篇
张文栋
2篇
熊继军
2篇
梁庭
2篇
薛晨阳
2篇
刘俊
1篇
李靖
1篇
张倩倩
1篇
牛坤旺
1篇
谭秋林
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雷程
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王楷群
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韩雨
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任晓力
1篇
殷亚飞
1篇
杨玉华
1篇
陈箫
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刘岗
传媒
1篇
电子元件与材...
年份
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2012
1篇
2011
1篇
2010
共
4
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晶体集成式红外探测器的设计及制备工艺研究
针对红外探测器在军事、医疗卫生、环境监测等领域越来越广泛的应用,本文提出了一种晶体集成式红外探测器的设计和制备工艺。晶体集成式红外探测器是非制冷型探器,具有以下特点:1)可以在室温下工作,而且制造成本低;2)对各个波长的...
杨绪军
关键词:
晶片
热释电
探测器
文献传递
一种热释电红外探测器及其制备方法
本发明公开的是一种基于晶片键合技术实现的热释电红外探测器及其制备方法。所述热释电红外探测器包括硅衬底(1)、硅衬底(1)表面的绝热层(2)、键合层(3)、热释电材料片(4)、上电极层(6)及红外吸收层(7),其中所述硅衬...
梁庭
杨玉华
薛晨阳
雷程
杨绪军
张文栋
刘俊
熊继军
文献传递
微型红外气体传感器
薛晨阳
谭秋林
梁庭
熊继军
张文栋
刘俊
任晓力
王楷群
韩雨
殷亚飞
张倩倩
李靖
杨绪军
微型红外气体传感器来源于某横向合作课题,该产品是利用MEMS加工技术,研制基于红外光学原理的气体传感器。并将其应用于危险化学品的安全生产、运输、仓储等过程中的泄露问题进行实时监测,为安全生产提供重要保证。经过项目组成员努...
关键词:
关键词:
红外气体传感器
探测器
铌酸锂晶片的键合减薄及热释电性能研究
被引量:5
2011年
铌酸锂(LN)作为一种热释电材料,可以被用于制作光电探测器敏感单元的敏感层,但通常LN晶片厚度为0.5 mm,远大于光电敏感单元厚度的要求,所以需要用键合减薄及抛光技术对LN晶片进行加工处理。本研究所用键合减薄技术主要包含:RZJ-304光刻胶键合、铣磨、抛光、剥离液剥离和丙酮清洗RZJ-304胶。利用该技术加工得到了面积为10 mm×10 mm,厚度为50μm,表面比较光滑,表面粗糙度为1.63 nm的LN晶片。LN晶片的热释电信号峰峰值在减薄抛光后为176 mV,是未经处理时的4倍,满足了热释电探测器敏感层的要求。
杨绪军
陈箫
刘岗
牛坤旺
张文栋
关键词:
键合
减薄
抛光
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