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王楷群

作品数：7 被引量：10H指数：2
供职机构：中北大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇探测器
  • 3篇灵敏度
  • 3篇敏度
  • 3篇红外
  • 2篇氮化硅
  • 2篇氮化硅薄膜
  • 2篇氧化硅薄膜
  • 2篇音叉
  • 2篇双端
  • 2篇热电堆
  • 2篇微机械
  • 2篇微机械热电堆
  • 2篇谐振
  • 2篇谐振式
  • 2篇加速度
  • 2篇加速度计
  • 2篇光刻
  • 2篇硅薄膜
  • 2篇红外探测
  • 2篇红外探测器

机构

  • 7篇中北大学
  • 1篇北京大学

作者

  • 7篇王楷群
  • 6篇张文栋
  • 5篇熊继军
  • 4篇石云波
  • 3篇梁庭
  • 3篇薛晨阳
  • 3篇刘俊
  • 2篇李丽华
  • 1篇李靖
  • 1篇张倩倩
  • 1篇谭秋林
  • 1篇杨绪军
  • 1篇毛海央
  • 1篇韩雨
  • 1篇任晓力
  • 1篇殷亚飞

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2011
  • 3篇2010
  • 1篇2009
  • 2篇2008
共 7 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
热电堆红外探测器的设计与性能测试
在红外系统中，红外探测器是最关键的元件之一，是红外装置的心脏，利用红外探测原理将红外辐射信号转换为电信号输出。热电堆红外探测器是非制冷型探测器，具有以下特点：1）可以在室温下工作，而且制造成本低;2）对各个波长的红外辐射...
王楷群
关键词：电学性能
谐振式微加速度计
本发明涉及微机械电子技术领域，具体是一种高灵敏度的谐振式微加速度计。解决了传统基于应力改变的谐振式加速度计的测量灵敏度易受内部残余应力等因素影响的问题，该加速度计包括玻璃基底、质量块、两双端固定音叉谐振器，两谐振器并列/...
熊继军张文栋石云波李丽华王楷群
文献传递
压阻式微加速度计灵敏度的温度特性研究被引量：5
2008年
以压阻式微加速度计为研究对象,定量研究了环境温度对其灵敏度的影响。理论研究结果表明,压阻式微加速度计灵敏度的相对误差随着温度偏差绝对值的增大而增大;其中灵敏度误差在温度偏差为+20℃时达到-4.943%,在温度偏差为-20℃时达到4.982%。设计了压阻式微加速度计压敏电阻的温度特性测试系统,测试结果表明,在温度偏差为+20℃时,灵敏度误差为-4.303%,温度偏差为-20℃时,实验值为4.251%。理论计算值与实验测试值相吻合。
王楷群张文栋毛海央
关键词：温度偏差迁移率灵敏度
微机械热电堆红外探测器
本发明涉及红外探测器领域，具体是一种微机械热电堆红外探测器。简化了制作工艺，提高了性能、成品率，制作步骤：①用LPCVD法在硅衬底双面淀积氮化硅薄膜；②光刻、刻蚀掉硅衬底正面的外围氮化硅薄膜；③用LPCVD法、光刻工艺制...
薛晨阳梁庭张文栋刘俊熊继军石云波王楷群
文献传递
谐振式微加速度计
本发明涉及微机械电子技术领域，具体是一种高灵敏度的谐振式微加速度计。解决了传统基于应力改变的谐振式加速度计的测量灵敏度易受内部残余应力等因素影响的问题，该加速度计包括玻璃基底、质量块、两双端固定音叉谐振器，两谐振器并列/...
熊继军张文栋石云波李丽华王楷群
文献传递
微机械热电堆红外探测器
本发明涉及红外探测器领域，具体是一种微机械热电堆红外探测器。简化了制作工艺，提高了性能、成品率，制作步骤：①用LPCVD法在硅衬底双面淀积氮化硅薄膜；②光刻、刻蚀掉硅衬底正面的外围氮化硅薄膜；③用LPCVD法、光刻工艺制...
薛晨阳梁庭张文栋刘俊熊继军石云波王楷群
文献传递
微型红外气体传感器
薛晨阳谭秋林梁庭熊继军张文栋刘俊任晓力王楷群韩雨殷亚飞张倩倩李靖杨绪军
微型红外气体传感器来源于某横向合作课题，该产品是利用MEMS加工技术，研制基于红外光学原理的气体传感器。并将其应用于危险化学品的安全生产、运输、仓储等过程中的泄露问题进行实时监测，为安全生产提供重要保证。经过项目组成员努...
关键词：
关键词：红外气体传感器探测器
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