刘鑫
- 作品数：4 被引量：18H指数：2
- 供职机构：黑龙江大学电子工程学院集成电路重点实验室更多>>
- 发文基金：黑龙江省教育厅科学技术研究项目教育部科学技术研究重点项目更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术化学工程电子电信更多>>
- TiO2薄膜氧传感器的制备与性能测试
- 阐述了TiO2薄膜氧传感器的发展概况,分析了它的氧敏机理,并介绍了它的制备工艺。最后,对制成的TiO2薄膜氧传感器进行实验得出的结果和理论分析得出的结果进行比较,进一步给出TiO2薄膜氧传感器的特性。
- 刘鑫赵全亮张辉军邱成军
- 关键词：氧传感器TIO2
- 文献传递
- MEMS结构氧传感器的研究被引量：6
- 2005年
- 采用微加工技术研制了一种以硅为基底材料,具有MEMS结构的氧传感器。阐述了该传感器的工作原理、结构设计、工艺流程以及特性分析。给出了溅射制备TiO2薄膜的方法及锐钛矿型晶体结构能谱,讨论了二氧化钛的氧敏机理。研究表明与传统的气体传感器相比,此种传感器具有体积小、低功耗、可集成的特点。
- 邱成军刘鑫曲伟张辉军
- 关键词：MEMS氧传感器磁控溅射
- 磁控溅射制备掺银TiO_2薄膜的光催化特性研究被引量：12
- 2005年
- 利用交流磁控溅射设备采用金属Ti靶在石英和硅衬底制备掺银TiO2薄膜,并利用SEM,XRD及吸收光谱等方法分析测试TiO2薄膜的性质,探讨了掺银对TiO2薄膜吸收光谱的影响。并通过对甲基橙溶液浓度变化研究了掺银TiO2薄膜光催化特性,分析了掺银对TiO2薄膜增强光催化作用的工作机理,研究结果表明掺银有利于TiO2薄膜对有机物的降解作用。
- 邱成军曹茂盛张辉军刘红梅田风军刘鑫
- 关键词：锐钛矿相射频磁控溅射光催化活性
- MEMS结构NO2传感器的研究
- 本文采用MEMS技术研制了一种以硅材料为基底,具有MEMS结构的NO2传感器,敏感材料选用金属酞菁化合物-酞菁锌.阐述了该传感器的工作原理、结构设计和工艺流程.给出了酞菁锌薄膜的制备方法.通过分析测试了该传感器的特性,并...
- 刘鑫邱成军左霞孔珊珊任华
- 关键词：MEMS技术气体传感器二氧化氮
- 文献传递
