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刘鹤玲

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：西安工业学院光电工程学院光电科学与工程系更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇折射率
  • 1篇离子
  • 1篇离子源
  • 1篇硫化锌
  • 1篇硫化锌薄膜
  • 1篇薄膜折射率
  • 1篇ZNS薄膜
  • 1篇ZNS

机构

  • 1篇西安工业学院

作者

  • 1篇蔡长龙
  • 1篇杭凌侠
  • 1篇徐均琪
  • 1篇刘鹤玲

传媒

  • 1篇西安工业学院...

年份

  • 1篇2002
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
离子源的溅射特性及其对ZnS薄膜折射率的影响被引量：2
2002年
在离子束辅助镀膜工艺中 ,离子源工作参数无疑是影响薄膜质量的关键因素 .本文对宽束冷阴极离子源溅射特性进行了研究 ,给出了离子源引出电压与溅射速率的关系 .
徐均琪刘鹤玲蔡长龙杭凌侠
关键词：ZNS薄膜硫化锌薄膜离子源折射率
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共1页<1>
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