卢建国
- 作品数：11 被引量：5H指数：1
- 供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家攀登计划更多>>
- 相关领域：电子电信电气工程更多>>
- 一种新结构薄膜热电堆
- 本实用新型是一种用半导体集成电路工艺和微机械工艺制造的薄膜热电堆。以硅片为衬底,热电堆中的热电偶由二种热电薄膜条夹在二氧化硅和氮化硅膜隔离层中,并通过引线孔串联成热电堆。热电堆中心为热端辐射吸收接收区,下面是凹坑和冷端硅...
- 沈德新卢建国
- 文献传递
- 一种新结构薄膜热电堆
- 本发明是一种用半导体集成电路工艺和微机械工艺制造的薄膜热电堆。以硅片为衬底,热电堆中的热电偶由二种热电薄膜条夹在二氧化硅和氮化硅膜隔离层中,并通过引线孔串联成热电堆。热电堆中心为热端辐射吸收接收区,下面是凹坑和冷端硅片框...
- 沈德新卢建国
- 文献传递
- 硅一金属温差电堆结构及性质研究
- 1993年
- 本文研究的温差电堆的单元对为多晶硅-金属(Au或Al)结构,其中多晶硅经连续波A_r^+激光再结晶处理后,电阻值降低,温差电堆器件的塞贝克系数和响应率得到提高.所制温差电堆最大集成达76对.
- 卢建国熊斌林成鲁
- 硅基红外热堆中热电偶尺寸和对数对探测性能的影响被引量：4
- 2001年
- 分析了多晶硅 -金集成热堆中热电偶的尺寸和对数对热堆性能的影响 ,对非接触红外测温的实用型热堆提出了设计和改进的思路 .随着热电偶对数的增加 ,时间常数减小 ,响应率增大 ,探测率出现最大值 .减小热电偶的长度可以减小热堆内阻和时间常数 .多晶硅横截面积和金横截面积的比值接近最佳比值时 ,探测率呈最大值 3× 10 8cm· Hz1 / 2· W- 1 .
- 李志怀冯明刘月英沈德新卢建国朱自强
- 关键词：热电偶硅基
- 多触点消沫传感器
- 本实用新型是一种检测、控制发酵罐中导电溶液发酵泡沫面高低的多触点消沫传感器。它由多触点电极、信号源、多路切换取样检测电路、微机和控制电磁阀开关的驱动电路构成。使用时，多触点电极上的触点与泡沫接触后，多路切换检测电路将每隔...
- 张俊岳王德宁卢建国
- 文献传递
- 硅－金属双层结构薄膜热电堆
- 本发明涉及一种硅－金属双层结构薄膜热电堆。主要由硅片衬底、衬底一面上的J形或L形多晶硅或金属薄膜条、隔离绝缘层、隔离层上面的L形或J形金属或多晶硅薄膜条、测量结点和串连参考结点、输出端和衬底另一面的空穴腔构成。本发明采用...
- 沈德新卢建国张保安戈肖鸿杨艺榕董荣康
- 文献传递
- 用于红外地平仪的双列硅集成热堆传感器
- 1993年
- 本文报道了试用于红外地平仪的新型热堆传感器。由于尺寸小、集成热偶对数高,故设计成双列硅集成结构,集成B-Sb热偶对为112对。采用集成电路工艺和微细加工技术研制,使器件获得较好的稳定性和可靠性。测得器件性能为:电阻10±1kΩ,响应率0.9～1.2V/W,时间常数<100ms.探测率D~*≈1×10~8cmHz^(1/2)/W。
- 卢建国隋兆文熊斌王渭源黄玢王素英
- 关键词：热堆传感器
- 压电微马达研制被引量：1
- 1998年
- 本文采用微机械加工研制压电微马达，用硅平面工艺首次制作了硅转子并装配成直径Φ１．８ｍｍ压电微马达，得到转速为３０～５０ｒ／ｍｉｎ。同时对转子重量、形状、激励频率与转速关系进行研究。
- 卢建国沈德新张健张保安王渭源
- 关键词：压电电机微马达微机械微电机
- 硅－金属双层结构薄膜热电堆
- 本实用新型涉及一种硅—金属双层结构薄膜热电堆。主要由硅片衬底、衬底一面上的J形或L形多晶硅或金属薄膜条、隔离绝缘层、隔离层上面的L形或J形金属或多晶硅薄膜条、测量结点和串连参考结点、输出端和衬底另一面的空穴腔构成。本实用...
- 沈德新卢建国张保安戈肖鸿杨艺榕董荣康
- 文献传递
- 硅集成热堆红外探测器研究
- 卢建国隋兆文熊斌
- 关键词：热电偶红外探测器半导体集成电路硅生产工艺
