沈德新
- 作品数：15 被引量：14H指数：2
- 供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家攀登计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电气工程电子电信更多>>
- 微工程的发展
- 1997年
- 微工程(microengineering)是一门技术科学,它专门研究采用微电子工艺技术设计、材料合成、微机械加工、贴装、总装和封装,制造纳米、微米和毫米尺寸的实体三维结构微小型传感器和致动器,并利用这项技术把传感器、致动器以及信号和数据处理器集成在同一块基片上,构成专用集成微仪器(application-specific integrated microinstruments.ASIM),进而构建复杂的微工程系统,或称集成微系统。
- 沈德新王渭源
- 关键词：微电子学
- 硅基红外热堆中热电偶尺寸和对数对探测性能的影响被引量：4
- 2001年
- 分析了多晶硅 -金集成热堆中热电偶的尺寸和对数对热堆性能的影响 ,对非接触红外测温的实用型热堆提出了设计和改进的思路 .随着热电偶对数的增加 ,时间常数减小 ,响应率增大 ,探测率出现最大值 .减小热电偶的长度可以减小热堆内阻和时间常数 .多晶硅横截面积和金横截面积的比值接近最佳比值时 ,探测率呈最大值 3× 10 8cm· Hz1 / 2· W- 1 .
- 李志怀冯明刘月英沈德新卢建国朱自强
- 关键词：热电偶硅基
- 一种新结构薄膜热电堆
- 本发明是一种用半导体集成电路工艺和微机械工艺制造的薄膜热电堆。以硅片为衬底,热电堆中的热电偶由二种热电薄膜条夹在二氧化硅和氮化硅膜隔离层中,并通过引线孔串联成热电堆。热电堆中心为热端辐射吸收接收区,下面是凹坑和冷端硅片框...
- 沈德新卢建国
- 文献传递
- 一种新结构薄型压电行波小马达被引量：2
- 1996年
- 本文设计和研制了一种新结构薄型压电行波小马达。小马达由圆形压电薄片或圆环形压电薄片和兼作公共电极的金属弹性体联成一体作马达的定子，薄型转子坐落在公共电极金属弹性体上，从而使压电马达的构造简单，也简化了制作工艺。研制成的薄型压电行波小马达直径φ８ｍｍ，定子总厚度≤３５０μｍ，在１０－１２伏交变电讯号激励下，转子转速≥１００ｒｐｍ。
- 沈德新张健张保安卢建国杨根庆王渭源
- 关键词：压电马达行波薄型弹性体微电机
- 薄型压电超声马达定子中旋转波形成机理初探被引量：2
- 1997年
- 详细分析了马达定子中旋转波(行波)的形成机理及其主要特征(包括动能、势能和角动量等),论述了定子-转子交界面粒子椭圆振动的形成,表明压电马达定子中的波不同于传统的驻波和行波,而是被人称之为第三种波——旋转波。同时,也预示了压电定子中旋转波产生同电极设置和外界激励方式的关系。讨论了定子的固定方式。根据这一理论,研制出了由位相差为90°的双功率源驱动的压电旋转波马达,外加电压10 V时,马达的最高转速可达100 r/min。
- 张健沈德新王渭源
- 关键词：压电效应压电超声马达
- 钇钡铜钛氧化物超导材料的制造方法
- 本发明是一种四元系氧化物高温超导材料钇钡铜钛氧的制造方法。采用在钇钡铜氧化物粉体原料中添加过渡金属氧化物——二氧化钛粉体原料，且使其间的重量百分比为1∶2-40％，然后压制成块状烧结成材。制成样品的零电阻温度80-91°...
- 杨民杰沈德新昌庆余曹美琴朱建中
- 文献传递
- 微型压电超声马达定子表面振动特性分析被引量：2
- 1998年
- 微型压电超声马达定子表面的振动幅度是难以检测的动态微小量。定子振动状态将直接关系到压电马达的实现与否。首次分析了采用均分电极结构的微型压电超声行波马达的定子表面的振动振幅。通过对影响定子振幅相关因素的分析，表明要获得最佳的表面振动效果，压电薄膜与弹性体的厚度必须相匹配。
- 张健沈德新卢建国王渭源
- 关键词：压电超声马达定子
- 压电超声微电机混合结构定子的固有频率特性分析被引量：1
- 1997年
- 压电超声微电机是依靠定子振动来换能的功率器件，定子性能将直接关系到微电机能否实现。本文采用了ＲａｙｌｅｉｇｈＲｉｔｚ方法来分析微机械中经常采用的多层膜结构（混合结构）定子的固有振动特性。推导中考虑了平面内应力和弯曲应力对固有频率的影响。模拟计算和实验结果符合得较好。此外还讨论了定子有关参数对固有频率的影响。
- 张健沈德新王渭源
- 关键词：固有频率微电机多层膜
- 一种新结构薄膜热电堆
- 本实用新型是一种用半导体集成电路工艺和微机械工艺制造的薄膜热电堆。以硅片为衬底,热电堆中的热电偶由二种热电薄膜条夹在二氧化硅和氮化硅膜隔离层中,并通过引线孔串联成热电堆。热电堆中心为热端辐射吸收接收区,下面是凹坑和冷端硅...
- 沈德新卢建国
- 文献传递
- 一种压电超声电机
- 本实用新型涉及一种压电超声电机，主要由定子、转子、轴承、外壳和激励电源构成。电机的转子座落在电机定子公共电极支承面上，且朝向定子公共电极的转子面上有等距齿的环齿层。本实用新型压电超声电机，既避免了传统结构转子对扇形电极的...
- 沈德新张宝安杨根庆王渭源
- 文献传递
