张巧云
- 作品数：12 被引量：27H指数：4
- 供职机构：四川压电与声光技术研究所更多>>
- 相关领域：电子电信航空宇航科学技术自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 声表面波陀螺仪
- 声表面波陀螺的概念出现在七十年代初期,发展为MEMS-IDT声表面波陀螺仅是最近几年的事情.MEMS-IDT声表面波陀螺仪是一种MEMS微机械振动陀螺,这种陀螺为单层平面结构,采用标准IC工艺就可完成加工;勿需悬浮的振动...
- 吕志清张巧云
- 关键词：MEMSSAWIDT陀螺
- 文献传递
- 焊接工艺的改进
- 1996年
- 介绍了压电角速率传感器用敏感元件的焊接及密封工艺的改进。采用新工艺后，敏感元件的成本降低，可靠性提高及性能得到了改善。将该工艺应用到低频滤波器用谐振子中，同样得到了满意的结果。
- 刘显战张巧云
- 关键词：密封敏感元件谐振子
- 提高敏感器件性能的措施
- 1994年
- 本文从影响敏感器件性能的主要弱点着手，采取扩大和加深振梁节点孔径的设计方案。实验结果表明采用此方案研制的敏感器件，其读出、阻尼面的增益和Ｑ值有明显提高。
- 刘显战张书刚张巧云钟青
- 关键词：角速率传感器
- 微电子技术在惯性技术领域中的应用
- 本文简要介绍了化学各自异性刻蚀的原理,说明了石英音叉振子的加工过程,给出了石英微机械振动陀螺的结构和试验结果,目前制作出的微机械振动陀螺的刻度因子大约为1mV/(°/s),品质因子大约为(5-6)×10。
- 张巧云吕志清彭洪亮林日乐张挺
- 文献传递
- 微机械加工技术在传感器制作中的应用被引量：7
- 1998年
- 讨论利用微机械加工技术制作传感器的可能性、必然性。介绍了几种在传感器制作中常用的微机械加工工艺，举例说明用微加工技术制作的角速率传感器及加速度传感器的结构及性能。
- 张巧云吕志清
- 关键词：传感器微电子电路
- 微电子技术在石英微机械振动陀螺中的应用被引量：7
- 2004年
- 叙述了采用微电子技术加工石英微机械振动陀螺振子的原理和基本过程,介绍了陀螺振子加工的研究结果和石英微机械陀螺的最新研究进展。
- 林日乐张巧云谢佳维翁邦英王瑞赵建华
- 关键词：微电子技术石英陀螺振子光刻工艺
- 陶瓷传感器的微型化与集成化
- 1994年
- 本文主要介绍陶瓷传感器在微型化及集成化方面的进展；指出了集成化多功能传感器存在的技术问题及未来发展趋势。
- 张巧云刘显战张绪礼
- 关键词：传感器多功能化集成化
- 石英微机械惯性传感器的加工技术被引量：2
- 2002年
- 本文讨论了石英微机械陀螺的基本结构和工作原理,叙述了用于石英加工的化学各向异性刻蚀机理,给出了石英音叉传感器的加工方法,提供了我们研制的石英微机械陀螺的试验结果。
- 谭德生张巧云
- 关键词：惯性传感器石英微机械陀螺各向异性刻蚀
- 多路数据采集与分析系统的设计及应用被引量：6
- 2005年
- 介绍了用一台PC机和一台测量仪表组成的8路数据采集与分析系统。该系统可并行测试多个产品,从而降低测试成本,提高工作效率。给出了系统硬件结构和软件流程图,并介绍了该系统在陀螺测试中的应用。
- 林日乐谢佳维毛世平张锐朱振忠张巧云
- 关键词：通信端口数据采集陀螺
- 三角形振梁支撑结构和悬挂系统的研究
- 1994年
- 本文主要介绍三角形振梁的几种支撑结构和悬挂系统。实验结果表明，二棱支撑结构的敏感器件性能良好。
- 刘显战张书刚张巧云寇正义
- 关键词：支撑结构
